Вести од индустријата

Депонирање на хемиска пареа (CVD) во производството на полупроводници се користи за депонирање на тенки филмови материјали во комората, вклучувајќи SiO2, SIN, итн., И најчесто користените типови вклучуваат PECVD и LPCVD. Со прилагодување на температурата, притисокот и реакцијата на гасот, CVD постигнува висока чистота, униформност и добро покривање на филмот за да се исполнат различните барања за процеси.

Оваа статија главно ги опишува широките можности за примена на керамиката со силициум карбид. Исто така, се фокусира на анализата на причините за синтерување пукнатини во керамиката со силициум карбид и соодветните решенија.

Технологијата за гравирање во производството на полупроводници честопати наидува на проблеми како што се ефектот на вчитување, ефектот на микро-гасови и ефектот на полнење, кои влијаат на квалитетот на производот. Решенијата за подобрување вклучуваат оптимизирање на густината на плазмата, прилагодување на составот на гасот на реакцијата, подобрување на ефикасноста на вакуумскиот систем, дизајнирање разумен распоред на литографијата и избор на соодветни материјали за маска за гравирање и услови на процеси.