Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.
Главните производи сеПрстен за водич обложен со TaC, Водечки прстен со три ливчиња обложен со CVD TaC, Тантал карбид TaC обложена полумесечина, CVD TaC обложување на планетарен SiC епитаксијален чувствител, Прстен за обложување со тантал карбид, Порозен графит обложен со тантал карбид, Подлога за ротација на облогата на TaC, Прстен од тантал карбид, Плоча за ротација на облогата TaC, Подложен нафора обложен со TaC, Дефлекторски прстен обложен со TaC, CVD TaC облога, Чак обложен со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги исполни барањата на клиентите.
Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу:
Облогата од тантал карбид (TaC) привлече внимание поради високата точка на топење до 3880°C, одличната механичка цврстина, цврстина и отпорност на термички удари, што го прави атрактивна алтернатива на сложените полупроводнички епитаксии со повисоки температурни барања. како што се Aixtron MOCVD системот и LPE SiC процес на епитаксија. Исто така, има широка примена во PVT методот SiC кристал процес на раст.
Клучни карактеристики:
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Отпорност на H2, NH3, SiH4, Si
●Отпорност на термички залихи
●Силна адхезија на графит
●Конформална покриеност со облога
● Големина до дијаметар до 750 mm (единствениот производител во Кина ја достигнува оваа големина)
Апликации:
●Носач на нафора
● Индуктивен подлога за загревање
● Отпорен грејач
●Сателитски диск
●Глава за туширање
●Водич прстен
●LED Epi ресивер
●Млазница за инјектирање
●Маскирање прстен
● Топлински штит
Тантал карбид (TaC) облога на микроскопски пресек:
Параметар на VeTek полупроводничка облога од тантал карбид:
|
Физички својства на TaC облогата
|
|
Густина
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Специфична емисионост
|
0.3
|
|
Коефициент на термичка експанзија
|
6.3 10-6/К
|
|
Цврстина (HK)
|
2000 HK
|
|
Отпор
|
1×10-5Ом * см
|
|
Термичка стабилност
|
<2500℃
|
|
Големината на графитот се менува
|
-10-20 мм
|
|
Дебелина на облогата
|
≥20um типична вредност (35um±10um)
|
TaC обложување EDX податоци：
Податоци за структурата на кристалните облоги на TaC:
|
Елемент
|
Атомски процент
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Просечна
|
|
Ц К
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
М
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
