Силикон нитрид

1. Одлична хемиска стабилност

Керамиката на силикон нитрид има одлична хемиска стабилност и може да издржи различни силни киселини, алкали и корозивни гасови. Во процесот на производство на полупроводници честопати треба да се справат со корозивни хемикалии, керамиката на силиконски нитрид може да обезбеди долгорочна гаранција за стабилна изведба.

2. Одлични механички својства

Керамиката на силикон нитрид има голема цврстина, одлична јачина на компресија и отпорност на абење, способни да издржат механички стрес и абење на површината, не лесен за деформација или руптура. Оваа механичка сопственост го прави многу погоден како материјал за структурни и процесни делови во опрема за полупроводници.

3. Стабилност на висока температура

Керамиката на силикон нитрид може да ја задржи стабилноста во околини со висока температура, не е лесна за омекнување или топење и може да издржи обработка и ракување со висока температура во процесот на производство на полупроводници. Ова му овозможува да се користи во производство на компоненти на клучните компоненти на опрема за висока температура, како што се грипер, компоненти на комората за реакција и така натаму.

4. Одлични изолациски својства

Изолационите својства се клучни во производството на полупроводници. Керамиката на силикон нитрид има добри изолациони својства, кои можат ефикасно да ги изолираат и заштитат компонентите на колото од тековно истекување или електромагнетно мешање, помагајќи во подобрување на стабилноста и сигурноста на уредот.

5. Термичка спроводливост и термичка спроводливост

Керамиката на силикон нитрид има висока термичка спроводливост, може ефикасно да ја спроведе и да ја распушти топлината генерирана од уредот, помагајќи да се одржи стабилноста на температурата на уредот во процесот на работа. Ова е клучно за работата со високи перформанси на полупроводнички уреди.

1. Електростатски чакови и компоненти на комората за гравирање

Керамиката на силиконски нитрид често се користи како материјали за електростатски чакови и компоненти на комората за гравирање во производството на полупроводници заради нивната одлична хемиска стабилност и отпорност на висока температура. Електростатските чакови се користат за фиксирање и стабилизирање на нафора или подлоги, додека компонентите за комора за гравирање се користат за да издржат корозивни гасови и околини со висока температура.

2. Плочи за дистрибуција на гас и рефлектори

Керамиката на силикон нитрид се користи и во производство на полупроводнички опрема во плочите за дистрибуција на гас и рефлектори. Плочите за дистрибуција на гас се користат за униформно дистрибуција на реактивни или заштитни гасови во комората на реакција, додека рефлекторите се користат за оптимизирање на дистрибуцијата и размислувањето на светлината во рамките на комората за реакција за подобрување на ефикасноста на реакцијата и униформност.

3. држачи и термички компоненти

Керамиката на силикон нитрид често се користи како држачи и компоненти на термичко управување со опрема за производство на полупроводници. Овие компоненти треба да имаат добра механичка јачина, отпорност на абење и топлинска спроводливост за да обезбедат стабилна опрема за работа и точност за обработка на уредот.

4. Влошки за хемиско механичко полирање (CMP)

Керамиката на силикон нитрид е широко користен како материјал за подлога во процесот на хемиско механичко полирање (CMP). Има одлична рамка и отпорност на абење и може да обезбеди стабилна поддршка за време на процесот на полирање за да се обезбеди рамност и прецизност на површината на нафтата на полупроводникот.