Оксидациските и дифузни печки се користат во различни полиња, како што се полупроводнички уреди, дискретни уреди, оптоелектронски уреди, електронски уреди за напојување, соларни ќелии и производство на интегрирано коло. Тие се користат за процеси, вклучително и дифузија, оксидација, прицврстување, легирање и топење на нафора.
Vetek Semiconductor е водечки производител специјализиран за производство на компоненти со графит со висока чистота, силиконски карбид и кварц во печки за оксидација и дифузија. Ние сме посветени на обезбедување на висококвалитетни компоненти на печката за полупроводници и фотоволтаични индустрии и сме во првите редови на технологијата на површинска облога, како што се CVD-SIC, CVD-TAC, пирокарбона, итн.
Предностите на компонентите на Силиконски карбид на полупроводници Ветек:
● Отпорност на висока температура (до 1600 ℃)
● Одлична термичка спроводливост и термичка стабилност
● Добра отпорност на хемиска корозија
● Низок коефициент на термичка експанзија
Кај печките за оксидација и дифузија, како резултат на присуството на висока температура и корозивни гасови, многу компоненти бараат употреба на материјали со висока температура и отпорни на корозија, меѓу кои силиконски карбид (Sic) е најчесто користен избор. Следниве се вообичаени компоненти на силиконски карбид кои се наоѓаат во печки за оксидација и печки за дифузија:
● Бродот со нафта
Силиконските карбид нафта со брод е сад што се користи за носење на силиконски нафора, што може да издржи високи температури и нема да реагира со силиконски нафора.
● Цевка за печка
Цевката на печката е основната компонента на печката за дифузија, што се користи за сместување на силиконски нафора и контрола на околината за реакција. Силиконските цевки за печки на карбид имаат одлични перформанси на отпорност на висока температура и корозија.
Plate Плоча со буфли
Се користи за регулирање на протокот на воздух и дистрибуција на температурата во печката
Tube цевка за заштита на термопул
Се користи за заштита на термопарките за мерење на температурата од директен контакт со корозивни гасови.
● лопатка за конзола
Силиконските карбидни кантилистички лопатки се отпорни на висока температура и корозија, и се користат за транспорт на силиконски чамци или кварцни чамци кои носат силиконски нафори во цевките за дифузија.
● Инјектор за гас
Се користи за воведување на реакциски гас во печката, треба да биде отпорен на висока температура и корозија.
● Носач на брод
Носачот на бродови со силиконски карбид се користи за фиксирање и поддршка на силиконски нафора, кои имаат предности како што се голема јачина, отпорност на корозија и добра структурна стабилност.
● Врата на печката
Силиконските карбидни облоги или компоненти може да се користат и во внатрешноста на вратата на печката.
● Елемент за греење
Елементите за греење на силиконски карбид се погодни за високи температури, голема моќност и можат брзо да ги зголемат температурите на над 1000.
● SIC лагер
Се користи за да се заштити внатрешниот wallид на цевките за печки, може да помогне да се намали загубата на топлинска енергија и да се издржи груби околини како што се висока температура и висок притисок.
