Вести од индустријата

Во растот на единечните кристали SiC и AlN со користење на методот на транспорт на физичка пареа (PVT), клучните компоненти како што се садот, држачот за семе и прстенот за води играат витална улога. Како што е прикажано на Слика 2 [1], за време на PVT процесот, семениот кристал се позиционира во регионот со пониска температура, додека суровината на SiC е изложена на повисоки температури (над 2400 ℃).

Силиконските карбидни подлоги имаат многу дефекти и не можат директно да се обработуваат. На нив треба да се одгледува специфичен единечен кристал тенок филм преку епитаксичен процес за да се направат нафора на чипови. Овој тенок филм е епитаксичен слој. Речиси сите уреди со силиконски карбид се реализираат на епитаксијални материјали. Висококвалитетниот силиконски карбид хомогени епитаксијални материјали се основа за развој на силиконски карбидни уреди. Перформансите на епитаксијални материјали директно ја одредуваат реализацијата на перформансите на силиконските карбидни уреди.

Силикон карбид ја преобликува индустријата за полупроводници за апликации за електрична енергија и висока температура, со своите сеопфатни својства, од епитаксијални подлоги до заштитни облоги до електрични возила и системи за обновлива енергија.

Висока чистота: Силиконскиот епитаксијален слој расте со хемиско таложење на пареа (CVD) има исклучително висока чистота, подобра плошност на површината и помала густина на дефекти од традиционалните наполитанки.

Цврстиот силиконски карбид (SIC) стана еден од клучните материјали во производството на полупроводници заради неговите уникатни физички својства. Следното е анализа на неговите предности и практична вредност заснована врз неговите физички својства и неговите специфични апликации во полупроводничка опрема (како што се носачи на нафта, глави за туширање, прстени за фокусирање на фокусирање, итн.).