Керамика од силикон карбид

VeTek Semiconductor е ваш иновативен партнер во областа на обработка на полупроводници. Со нашето широко портфолио на комбинации на материјали од силикон карбид керамика од полупроводничка класа, способности за производство на компоненти и услуги за инженерство на апликации, можеме да ви помогнеме да ги надминете значајните предизвици. Инженерската техничка керамика со силикон карбид е широко применета во индустријата за полупроводници поради нивните исклучителни материјални перформанси. Ултра-чистата керамика со силикон карбид на VeTek Semiconductor често се користи во текот на целиот циклус на производство и обработка на полупроводници.

ДИФУЗИЈА И ОБРАБОТКА НА LPCVD

VeTek Semiconductor обезбедува инженерски керамички компоненти специјално дизајнирани за сериска дифузија и барања за LPCVD, вклучувајќи:

• Прегради и држачи
• Инјектори
• Облоги и процесни цевки
• Конзолни лопатки од силициум карбид
• Нафора и постаменти

SiC конзола лопатка SiC процесни цевки Силикон карбид процесна цевка SiC вертикален брод со нафора SiC хоризонтален брод со нафора SiC хоризонтални кварт на нафора брод Брод со нафора SiC LPCVD Брод со хоризонтална плоча SiC SiC керамички запечатувачки прстен

ЕТЧ КОМПОНЕНТИ НА ПРОЦЕСОТ

Минимизирајте ја контаминацијата и непланираното одржување со компоненти со висока чистота дизајнирани за строгоста на обработката на плазма офорт, вклучувајќи:

КОМПОНЕНТИ ЗА БРЗА ТЕРМИЛНА ОБРАБОТКА И ЕПИТАКСИЈАЛЕН ПРОЦЕС

VeTek Semiconductor обезбедува напредни материјални компоненти приспособени за апликации за термичка обработка на висока температура во индустријата за полупроводници. Овие апликации опфаќаат RTP, Epi процеси, дифузија, оксидација и жарење. Нашата техничка керамика е дизајнирана да издржи термички удари, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси. Со компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници можат да постигнат ефикасна и висококвалитетна термичка обработка, придонесувајќи за севкупниот успех на производството на полупроводници.