SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

VeTek Semiconductor's SiC обложен графит сусцептор за MOCVD е носач на графит со висока чистота обложен со SiC, специјално дизајниран за раст на епитаксијален слој на чипови на нафора. Како централна компонента во обработката на MOCVD, вообичаено обликувана како запчаник или прстен, може да се пофали со исклучителна отпорност на топлина и отпорност на корозија, обезбедувајќи стабилност во екстремни средини.

Клучни карактеристики на MOCVD SiC обложениот графит сусцептор:

● Обвитка отпорна на снегулки: Обезбедува рамномерно покривање со SiC облога на сите површини, намалувајќи го ризикот од одвојување честички

● Одличен отпорник за оксидација со висока температураce: Останува стабилна на температури до 1600 ° C

●   Висока чистота: Произведено преку таложење на хемиски пареа на CVD, погодно за услови на хлорирање со висока температура

●   Супериорна отпорност на корозија: Високо отпорен на киселини, алкалии, соли и органски реагенси

●   Оптимизирана шема на ламинарен проток на воздух: Ја подобрува униформноста на динамиката на протокот на воздухот

●   Еднообразна топлинска распределба: Обезбедува стабилна дистрибуција на топлина за време на процесите на висока температура

● Превенција на контаминација: Спречува дифузија на загадувачи или нечистотии, обезбедувајќи чистота на нафта

Во VeTek Semiconductor, ние се придржуваме до строги стандарди за квалитет, обезбедувајќи сигурни производи и услуги за нашите клиенти. Избираме само врвни материјали, стремејќи се да ги исполниме и надминеме барањата за изведба на индустријата. Нашиот SiC обложен графит сусцептор за MOCVD е пример за оваа посветеност на квалитетот. Контактирајте не за да дознаете повеќе за тоа како можеме да ги поддржиме вашите потреби за обработка на полупроводнички обланди.

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА:

Основни физички својства на CVD SiC облогата:

Тоа полупроводник MOCVD Со што е обложена поддршка на графит;