Што е облога со тантал карбид (TaC)? Својства, CVD и апликации

Што е тантал карбид (TaC)?

Облогата со тантал карбид (TaC) е високотемпературен керамички заштитен слој нанесен на графит и избрани компоненти базирани на јаглерод. Во производството на полупроводници, CVD TaC премазите се користат за заштита на критичните делови на печката и реакторот во тешки апликации, вклучително и SiC еднокристално растење и епитаксијална обработка. Изведбата на облогата зависи од нејзината микроструктура, чистота, дебелина, адхезија и компатибилност со работната средина.

Тантал карбид облогаможе ефикасно да ги заштити графитните компоненти од ефектите на врелиот амонијак, водород, силициумска пареа и стопен метал во тешки средини за употреба, значително продолжувајќи го работниот век на компонентите на графитот и потиснувајќи ја миграцијата на нечистотиите во графитот, обезбедувајќи го квалитетот наепитаксијаленираст на кристали.

Слика 1. Вообичаени компоненти обложени со тантал карбид

Подготовка на TaC облога со CVD процес

Хемиско таложење на пареа (CVD) е најзрел и најоптимален метод за производство на TaC облоги на графитни површини.

Користејќи TaCl5 и пропилен како извори на јаглерод и тантал, соодветно, и аргон како носечки гас, испаруваната пареа TaCl5 на висока температура се внесува во комората за реакција. На целната температура и притисок, пареата на материјалот претходник се адсорбира на површината на графитот, подложени на низа сложени хемиски реакции како што се распаѓање и комбинација на извори на јаглерод и тантал, како и низа површински реакции како што се дифузија и десорпција на нуспроизводите на претходникот. Конечно, на површината на графитот се формира густ заштитен слој, кој го штити графитот од стабилно постоење при екстремни еколошки услови и значително ги проширува сценаријата за примена на графитните материјали.

Слика 2.Принцип на процес на таложење на хемиска пареа (CVD).

За повеќе информации за принципите и процесот на подготовка на CVD TaC облогата, ве молиме погледнете ја статијата:Како да се подготви CVD TaC облога?

Зошто да изберете Veteksemicon?

Ветексемиконглавно обезбедува производи од тантал карбид: TaC водич прстен, TaC обложен прстен со три ливчиња,Премаз за обложување TaC,TaC слој порозен графит се широко користени е SiC кристално раст процес; Порозен графит со TaC обложен, водич обложен со TaC,TaC обложена графитна носач на нафора, TaC чувствителни облоги,планетарен сензор, И овие производи за обложување со тантал карбид се широко користени воПроцес на епитаксија на SiCиПроцес на раст со еден кристал SiC.

Слика 3.ВеТek Најпопуларните производи за обложување на тантал карбид на полупроводници

Најчесто поставувани прашања за TaC облогата

1. За што се користи TaC облогата?

Облогата TaC се користи за заштита на графитот и избраните компоненти на база на јаглерод во тешки топлински и хемиски средини. Важните апликации вклучуваат опрема за раст на SiC кристали и одредени полупроводнички компоненти за епитаксијална обработка.

2. Која е разликата помеѓу TaC и SiC облогата?

TaC и SiC се различни карбидни материјали со различни термички, хемиски и механички својства. TaC може да биде корисен во избрани средини со екстремен температурен кристален раст, додека CVD SiC е широко воспоставен во компонентите на полупроводнички реактор. Изборот зависи од апликацијата.

3. Зошто се користи TaC облогата во растот на SiC кристалите?

TaC облогите можат да помогнат во заштитата на графитните компоненти од тешките SiC PVT процесни средини. Соодветно квалификуваните дизајни на облоги може да ја намалат деградацијата на подлогата и поврзаните ризици од контаминација.

4. Што предизвикува пукање или раслојување на TaC облогата?

Потенцијалните причини вклучуваат резидуален стрес, температурни градиенти, дефекти на подлогата, некомпатибилни топлински циклуси и деградација на интерфејсот на облогата. Потребна е детална анализа на неуспехот за да се утврди вистинската причина.

5. Дали облогата TaC е иста како облогата од танталум или облогата со ta-C?

Не. TaC е тантал карбид, керамичко соединение од тантал и јаглерод. Металната обвивка од тантал е различен материјал, додека ta-C обично се однесува на тетраедарски аморфен јаглерод, форма на јаглеродна обвивка слична на дијамант.

6. Дали може да се приспособат компонентите од графит обложени со TaC?

Геометријата на компонентите, степенот на графит, барањата за обложување и критериумите за инспекција може да се специфицираат за инженерски преглед. Изводливоста на производството и остварливите толеранции треба да се потврдат во однос на апликацијата и одобрените цртежи.