Так облога Чак

TAC облогата на Vetek Semiconductor е идеално решение за постигнување на исклучителни резултати во процесот на SIC EPI. Со својата танталум карбид облога, отпорност на висока температура и хемиска инертност, нашиот производ ви овозможува да произведувате висококвалитетни кристали со прецизност и сигурност.

Tac tantalum carbide е материјал што најчесто се користи за премачкување на површината на внатрешните делови на епитаксична опрема. Ги има следниве карактеристики:

● Одлична отпорност на висока температура: Танталум карбид облогата може да издржи температури до 2200 ° C, што ги прави идеални за апликации во околини со висока температура, како што се комори за епитаксијална реакција.

● Висока цврстина: Цврстината на танталум карбид достигнува околу 2000 HK, што е многу потешко од најчесто користената легура од не'рѓосувачки челик или алуминиум, што може ефикасно да спречи абење на површината.

● Силна хемиска стабилност: Танталум карбид облогата се одвива добро во хемиски корозивни средини и може во голема мерка да го продолжи животниот век на компонентите на епитаксијална опрема.

● Добра електрична спроводливост: Површината на облогата има добра електрична спроводливост, што е погодна за електростатско ослободување и спроводливост на топлина.

Овие својства го прават Tac tantalum carbide обложување на идеален материјал за производство на критични делови како што се внатрешни грмушки, wallsидови на комората за реакција и елементи за греење за епитаксична опрема. Со обложување на овие компоненти со TAC, може да се подобри целокупниот перформанси и услужниот век на епитаксијалната опрема.

За силиконска карбид епитакси, TAC обложување на парче може да игра и важна улога. Површинска обвивка е мазно и густо, што е погодно за формирање на висококвалитетни филмови со силиконски карбид. Во исто време, одличната термичка спроводливост на TAC може да помогне во подобрување на униформноста на дистрибуцијата на температурата во рамките на опремата, а со тоа да се подобри точноста на контролата на температурата на епитаксијалниот процес и на крајот да се постигне повисок квалитетСиликонски карбид епитаксиченраст на слојот.

Продавници за производи на Vetek Semiconductor: