Прстен за обложување TaC

Полупроводничкиот TaC облоген прстен на VeTek е направен од висококвалитетен графит и обложен со тантал карбид (TaC), материјал познат по своите супериорни својства, е незаменлива компонента во обработката на полупроводнички нафора.

Клучните карактеристики и придобивки од прстенот за обложување на TAC на Vetek Semiconductor TAC:

●  Висока термичка стабилност: Една од највисоките карактеристики на прстенот за обложување на карбид Танталум е неговата способност да издржи високи температури, клучен фактор во гравирањето на полупроводници. Процесот на гравирање SIC вклучува изложеност на покачени температури и реактивни гасови, а облогата на карбид Танталум обезбедува прстенот да остане стабилен и го задржува својот структурен интегритет дури и под овие груби услови. Оваа термичка еластичност гарантира дека компонентата продолжува да работи оптимално во текот на продолжените периоди.

● Подобрена механичка јачина: Комбинацијата од графит со висока цврстина и облога TaC резултира во компонента со подобрени механички својства, што го прави TaC обложениот прстен високо отпорен на абење и кинење. Неговата механичка сила е клучна за цврсто држење на наполитанките на SiC, обезбедувајќи прецизно офортување и спречување на каква било деформација во текот на процесот.

● Отпорност на хемиска корозија: Во полупроводничките процеси, како што е офорт со SiC, компонентите често се изложени на агресивни хемикалии и реактивни гасови. Облогата Тантал карбид обезбедува одлична заштита од корозија, значително продолжувајќи го корисниот век на прстенот и минимизирајќи ја потребата од чести замени. Овој отпор е особено важен во процесот на офорт, каде што компонентите се во постојан контакт со хемиски реактивни материи.

●  Супериорни облоги CoatiTaC за подобрени перформанси: Облогата од тантал карбид на графитниот прстен обезбедува цврста површина што ги подобрува севкупните перформанси на компонентата. Тантал карбидот е познат по својата висока точка на топење (приближно 3.880°C) и неговата одлична отпорност на хемиски реакции, особено во агресивните средини што вообичаено се среќаваат за време на процесите на производство на полупроводници. Оваа облога од тантал карбид значително го подобрува животниот век на производот, обезбедувајќи супериорна издржливост во споредба со необложените графитни прстени.

● Подобрена механичка јачина: Комбинацијата од графит со висока цврстина и облога TaC резултира во компонента со подобрени механички својства, што го прави TaC обложениот прстен високо отпорен на абење и кинење. Неговата механичка сила е клучна за цврсто држење на наполитанките на SiC, обезбедувајќи прецизно офортување и спречување на каква било деформација во текот на процесот.

Како водечки снабдувач на прстени за обложување на TAC, производител и фабрика во Кина, Vetek Semiconductor долго време е посветен на обезбедување на напредни производи за прстен за обложување на TAC и технички решенија за индустријата за обработка на полупроводници и поддржува прилагодени услуги за производи. Ветексеми искрено со нетрпение очекува да стане ваш долгорочен партнер во Кина.

Физички својства на TaC облогата

Продавници за прстенести производи за обложување на Vetek Semiconductor's TAC