Тантал карбид облога

Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.

Главните производи сеПрстен за водич обложен со TaC, Водечки прстен со три ливчиња обложен со CVD TaC, Тантал карбид TaC обложена полумесечина, CVD TaC обложување на планетарен SiC епитаксијален чувствител, Прстен за обложување со тантал карбид, Порозен графит обложен со тантал карбид, Подлога за ротација на облогата на TaC, Прстен од тантал карбид, Плоча за ротација на облогата TaC, Подложен нафора обложен со TaC, Дефлекторски прстен обложен со TaC, CVD TaC облога, Чак обложен со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги исполни барањата на клиентите.

Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу: