Како да изберете mocvd графит фиока?

Прашање 1: Што е графит -фиока MOCVD и зошто е толку важно за епитаксијалниот процес?

Графитната плоча со метално-органска хемиска пареа (MOCVD), исто така позната како графит-фиока MOCVD или графит-графит, е компонента со висока чистота што се користи за фиксирање на полупроводнички нафори за време на епитаксичен раст. Во епитаксијалниот процес, тој делува како грејно елемент и обезбедува униформа дистрибуција на температурата, која игра незаменлива улога во депонирање на тенки филмови во апликации како што се напредни уреди за полупроводници, LED производство и соларни ќелии.

Графитската фиока може да издржи екстремни температури (до 1.800 ° C) и корозивни опкружувања со гас, што го прави неопходен материјал за високо-температурни, MOCVD системи отпорни на корозија. Неговите перформанси директно влијаат на конзистентноста на процесите и приносот на нафта.

Прашање 2: Кои материјални својства треба да бидат приоритетни при изборот на графитни ленти MOCVD?

Избирање на вистинската графитна плоча бара проценка на неговите физички и хемиски својства:

● Висока чистота (над 99,999%):

Обично, нечистотиите како што се метали или пепел можат да го загадат епитаксијалниот процес. Изборот на снабдувач на графит на графит со висока чистота, како што е ветексемион, обезбедува минимални дефекти во епилејерот на полупроводникот.

●  Одлична термичка стабилност:

За време на реалната обработка, графитните плочи мора да бидат во можност да издржат одредени термички шокови и да одржуваат структурен интегритет под брзинските температурни циклуси. Графит со висока густина на ветексемион обезбедува униформа дистрибуција на топлина, што е клучно за униформа раст на филмот.

●  Одлична отпорност на корозија:

Во околината на процесот MOCVD, графитот генерално е изложен на корозивни гасови (на пр., Амонијак, водород). Графитните плочи отпорни на корозија со висока температура со ситно-гранулирана структура ја минимизираат корозијата и го прошируваат животот на услугата.

●  Механичка сила со високи перформанси:

Во епитаксијалниот процес, графитските ленти MOCVD мора да поддржуваат повеќе нафора без да се искриват. Според статистиката на Ветексемион во реалната обработка, јачината на свиткување на графитната плоча мора да биде ≥50 MPa за да се спречи пукање на фиоката.

Q3: Како сценариото за апликација влијае на изборот на графитни ленти MOCVD?

Различни процеси на MOCVD бараат прилагодени дизајни на графитна плоча:

●  Епитаксичен раст на LED/фотоника:

Ултра-мазни графитните плочи MOCVD се користат во процесот на епитаксијата за да се намали генерирањето на честички и да се обезбеди слоеви без дефекти.

На пример, графитните плочи Vetekemicon MOCVD (или ветексемиконските графитни плочи за MOCVD) се дизајнирани за епитаксијата GAN и GAAS и обезбедуваат оптимизирано термичко управување.

●  Производство на полупроводници на моќност:

Во комбинација со експерименталната статистика на полупроводникот Semikera, плочите со засилена отпорност на оксидација обично се претпочитаат за процесите на силикон карбид (Sic) или галиум нитрид (GAN).

●  Производство со висок проток:

Мулти-варните ленти бараат прецизна обработка за да се усогласат со дизајнот на реакторот. Прилагодливи графитни ленти MOCVD од сигурен снабдувач Semikera Полупроводник може да одговара на специфични конфигурации на алатки.

Q4: Кои се клучните размислувања за пронаоѓање на сигурен снабдувач на графитни плочи MOCVD?

●  Сертификација и тестирање:

Потврдете дека добавувачот обезбедува материјална сертификација (на пр. Извештај за чистота, тест за густина) и обезбедува третман на површинска површина по обработка (на пр. Обвивка за намалување на порозноста). Како водечки кинески полупроводнички облога и епитаксијален процес на опрема за процеси, ветексемион MOCVD графитни плочи се овластени од владините оддели за ригорозни гранични експерименти, а резултатите од тестот за чистота и густина на неговите производи се далеку пред своите врсници.

●  Способности за прилагодување:

Врвните добавувачи на графит со висока чистота на графит треба да ја прилагодат големината, шемата на дупките и облогата за да ги исполнат барањата на вашиот реактор. И Vetekesmon и Semikera полупроводникот имаат можности за прилагодување на услугите на поврзани производи и технологии и се целосно способни да ги задоволат вашите различни кориснички потреби.

●  Животен век и ефикасност на трошоците:

Додека поевтиниот графит може да заштеди однапред трошоци, инфериорните графитни плочи ќе доведат до честа замена и застој, сериозно да влијае на нормалната ефикасност на производството. Изборот на ветексемионски графитни плочи и други квалитетни производи ќе му овозможат на вашиот бизнис да постигне долгорочно доверливо производство.

Q5: Како да го продолжите услужниот живот на графитските ленти MOCVD?

●  Спречи оксидација: Користете чистење на инертен гас за време на циклусите на греење/ладење.

●  Редовно чистете: Користете не-абразивни методи (како што е суво гравирање) за да ги отстраните депонираните остатоци.

●  Избегнувајте механички стрес: Ракувајте со фиоката внимателно за време на вчитувањето/истовар на нафта.

Најдобар совет на Ветексемион за вас:

За графитните плочи MOCVD кои се отпорни на корозија на висока температура, им даваат приоритет на добавувачите со експертиза во материјали од полупроводници.

Тест примероци под реални услови на процесот за да се проверат перформансите.

Истражете напредни облоги (како што е облогата SIC, TAC облога) за подобрување на издржливоста и сигурноста во екстремните средини.

За повеќе информации во врска со графитната плоча MOCVD SIC, кликнете овде.

За повеќе информации во врска со TAC облогата MOCVD графитна плоча, кликнете овде.