8-инчен CVD силикон карбид (SiC) обложен епитаксиен врвен прстен

Клучни карактеристики на врвниот прстен SiC Epi од 8 инчи

● Висока чистота: 99,9995% минимум. Металот нема да мигрира во епи-слојот. Ова ја задржува концентрацијата на носачот на нафора онаму каде што треба.

● Потиснување на честички: CVD структурата е густа. Нема пори. Нема да испушта честички додека работи алатката. Фабриките на овој начин гледаат подобри приноси.

● Отпорност на топлина: прстенот останува стабилен на 1500°C. Нискиот CTE (термичка експанзија) значи дека нема искривување при брзи циклуси на загревање/ладење.

● Хемиска стабилност: Цврстиот CVD SiC отпорен на гасови H2 и HCl. Исто така се спротивставува на NH3. Нема облога за лупење. Не се деградира во сурови CVD средини.

● Времетраење на компонентите: површината е исклучително тврда. Преживува повторено хемиско чистење со HF/HCl. Ова ја намалува фреквенцијата на замена. Тоа, исто така, го намалува вкупниот трошок за сопственост на фабриката.

Технички спецификации

Еднообразноста на дебелината на облогата помеѓу сериите се контролира на 10um

Апликации

Врвниот прстен CVD SiC epi е широко користен во:

● Силиконски епитаксии (Si Epi) реактори

● Епитаксија на силициум карбид (SiC Epi)

● MOCVD системи

● Опрема за депонирање на CVD

Најчесто се поврзува со:

● Сензиптори

● Носачи на нафора

● Загрејте ги прстените

● Епитаксии реактори

Зошто да ставите врвен прстен VETEK SiC Epi?

● Целосна производствена способност: 

Од прочистување на суровините до прецизна обработка и CVD премачкување, VETEK го контролира целиот производствен процес за да обезбеди постојан квалитет на полупроводници.

● Висока точност: 

Ние користиме обработка на ниво на микрони. Дебелината на CVD е многу униформа. Ова го прави секој прстен да работи на ист начин.

Најчесто поставувани прашања

(1) Што прави SiC epi горниот прстен?

Прстенот управува со протокот на топлина и гас. Тоа осигурува дека тенката фолија расте рамномерно низ обландата.

(2) Зошто CVD SiC е подобар од графитот?

Графитот е порозен. Графитот има пори и ослободува гас. Цврстиот CVD SiC е густ и чист. Тоа трае многу подолго кај корозивни алатки.

(3). Дали 8-инчниот SiC врвен прстен може да се прилагоди?

Да. Ние градиме цртежи според вашата специфична алатка. Можеме да ја прилагодиме геометријата врз основа на вашиот процес.

(4). Кои индустрии користат SiC епитаксичните прстени?

Тие главно се користат во производството на полупроводници, вклучувајќи уреди за напојување, RF уреди и производство на нафора со SiC.