Вести

Работен принцип на епитаксијалната печка е да се депонираат полупроводнички материјали на подлогата под висока температура и висок притисок. Силиконски епитаксичен раст е да се одгледува слој на кристал со иста кристална ориентација како подлогата и различна дебелина на силиконска единечна кристална подлога со одредена кристална ориентација. Оваа статија главно ги воведува методите на силиконски епитаксијален раст: епитаксијата на фазата на пареа и епитаксијата на течна фаза.

Депонирање на хемиска пареа (CVD) во производството на полупроводници се користи за депонирање на тенки филмови материјали во комората, вклучувајќи SiO2, SIN, итн., И најчесто користените типови вклучуваат PECVD и LPCVD. Со прилагодување на температурата, притисокот и реакцијата на гасот, CVD постигнува висока чистота, униформност и добро покривање на филмот за да се исполнат различните барања за процеси.

Оваа статија главно ги опишува широките можности за примена на керамиката со силициум карбид. Исто така, се фокусира на анализата на причините за синтерување пукнатини во керамиката со силициум карбид и соодветните решенија.