Вести

Оваа статија главно ги опишува широките можности за примена на керамиката со силициум карбид. Исто така, се фокусира на анализата на причините за синтерување пукнатини во керамиката со силициум карбид и соодветните решенија.

Технологијата за гравирање во производството на полупроводници честопати наидува на проблеми како што се ефектот на вчитување, ефектот на микро-гасови и ефектот на полнење, кои влијаат на квалитетот на производот. Решенијата за подобрување вклучуваат оптимизирање на густината на плазмата, прилагодување на составот на гасот на реакцијата, подобрување на ефикасноста на вакуумскиот систем, дизајнирање разумен распоред на литографијата и избор на соодветни материјали за маска за гравирање и услови на процеси.