Силикон карбид семе кристално врзување вакуум топла-прес печка

Технологијата за поврзување на семето SiC е еден од клучните процеси кои влијаатраст на кристали.ВЕТЕК има развиено специјализирановакуумска печка за топла пресаза врзување на семето врз основа на карактеристиките на овој процес. Печката може ефикасно да ги намали различните дефекти настанати за време на процесот на врзување на семето, а со тоа да го подобри приносот и конечниот квалитет на кристалниот ингот.

Воведи

1. Печката се користи за врзување на семиња предРастење на SiC кристали

2. Сврзаното семе може да остане цврсто прицврстено на температура од 2300℃, одржувајќи 100% адхезија без воздушни меури, со висока плошност, чиста површина на семето и без адсорбирани нечистотии

3. Загреаната плоча е усвоена отпорност на загревање на униформа грејна зона во форма на спирален диск, штедлива е за употреба, лесна за ракување

4.Дното на плочата на товарот е опремено со сензори за сила, попрецизно е прикажана надолната сила на работното парче 

Вовед во функција

1. Водно ладената метална комора на двојниот ѕид ефикасно ја намалува температурата на надворешната површина на телото на печката, ја минимизира штетата од високата температура и го намалува влијанието врз животната средина.

2. Може да постигне автоматско зголемување на надолната сила и задржување на силата, бавната сила на вчитување и поместувањето може автоматски да се контролира.

3.Достапни се разновидни вакуумски конфигурации и различни нивоа на вакуум може да се изберат според процесот.

4.Униформен притисок и точност на контрола на висока температура.

5. Структурата на надолна сила прифаќа прецизен механички потисок, обезбедувајќи точна и стабилна сила на спуштање, безбедна употреба и еколошка пријатност.

6. Долу жигот е поврзан со шипката за туркање со „универзален“ начин. Обезбедете кога работното парче е потиснато, површината на долниот печат е под приспособлива паралелна со површината на загреаната плоча, осигурете се дека работното парче носи униформа надолна сила.

7. Надолу печат има функција на тампон вчитување надолу сила, обезбедувајќи мазна и мека надолна сила без влијание, на тој начин да се спречи пукање на работното парче.

9. И загреаната плоча и печатот со надолна сила се опремени со термоизолациски штит за да се намали неефективното губење на температурата.

Параметар

Карактеристика

1. Бавно вакуумско пумпање, прилагодлива стапка на вакуумско пумпање

2. Голема комора, голем простор за надградба

3. Надолу печат работи стабилно и работи автоматски

4. На downforce бавно олеснување и бавно зголемување, downforce рампа според рецепт автоматска контрола

5. Прецизна програмирана контрола на температурата и надолната сила

6. Параметрите на вакуум, надолна сила и температура можат слободно да се постават за да одговараат на различните процеси на поврзување

7. Сврзувањето е набиено и без меурчиња

8. Стапката на пукнатини е екстремно ниска, речиси без пукнатини предизвикани од проблеми со опремата

9. Компатибилен со сврзување на семето од 6-12 инчи

10. Макс. надолна сила: 1,6 Т

11. Краен вакуум: 5 Pa (ладно)

12. Температурна униформност на загреаната плоча:＜±3℃,σ<4(200℃)

13. Флуктуација на притисок:<0,5%