Брод со силиконски касети

Бродот со силиконски касети што го нуди Veteksemicon е дизајниран за ригорозни барања за топлинска, механичка и контрола на контаминација на модерното производство на полупроводнички нафора. Произведен од монокристален или полисилициум со ултра висока чистота и обработен според водечките стандарди за чистота во индустријата, Silicon Cassette Boat функционира како критичен систем за носење на наполитанки кои се подложени на оксидација, дифузија, жарење и други термички циклуси базирани на печка. Нејзините суштински својства на материјалот - хемиска инертност при покачени температури, усогласена термичка експанзија со силиконски наполитанки и екстремно ниска концентрација на метални нечистотии - му овозможуваат да го минимизира создавањето на честички и термичкиот стрес, обезбедувајќи униформност и повторливост од суштинско значење за производство на подмикрони и напредни јазли.

Во рамките на вертикалните и хоризонталните платформи на печката, чамецот со касети со силикон обезбедува прецизно растојание на обландите и стабилна механичка поддршка, овозможувајќи постојан пренос на топлина и рамномерен проток на гас низ целата серија. Со елиминирање на меѓуматеријалните интеракции кои вообичаено се поврзуваат со кварцните или керамичките носачи, помага да се заштитат површините на обландата од контаминација при долго натопување на висока температура, дури и при температури кои се приближуваат до 1200°C. Ова усогласување на материјалот помеѓу носачот и подлогата, исто така, ги намалува линиите на лизгање, микро пукнатините и искривувањето, што го прави чамецот особено поволен за апликации како што се раст на густ оксид, дифузија со придвижување, обвивка за имплантација на висока температура и епитаксијална обработка на напојувачки уред.

Дизајниран да се интегрира беспрекорно со автоматизирани системи за полнење, модули за пренос од FOUP во печка и роботско ракување со нафора, Silicon Cassette Boat на Veteksemicon поддржува производни средини од 200 mm и 300 mm и е во согласност со врвните OEM спецификации на печката. Неговата висока димензионална прецизност, оптимизирана геометрија на отворите и напредната завршна обработка на површината придонесуваат за супериорна топлинска униформност, намалена дефект и продолжен работен век - фактори кои директно го подобруваат приносот на процесот и времето на работа на опремата.

Поддржан од стручноста на науката за материјали на Veteksemicon и строгото управување со квалитетот, Silicon Cassette Boat обезбедува стабилни перформанси низ повеќе термички циклуси, ниско испуштање на честички и предвидливо однесување во атмосфери со високи температури како што се O2, H2, N2 или мешавини на инертен гас. За фабриките кои бараат подобрена контрола на контаминација, предвидливи термички профили и компатибилност со производството на уреди од следната генерација, Silicon Cassette Boat ја зајакнува доверливоста на процесот, ја подобрува униформноста на нивото на обланда и овозможува постојано производство на полупроводници со голем волумен.