Производи

Силициум карбид слој

VeTek Semiconductor е специјализиран за производство на производи за премачкување со ултра чист силикон карбид, овие премази се дизајнирани да се нанесуваат на прочистен графит, керамика и огноотпорни метални компоненти.


Нашите премази со висока чистота се првенствено наменети за употреба во индустријата за полупроводници и електроника. Тие служат како заштитен слој за носачи на обланди, сензори и грејни елементи, заштитувајќи ги од корозивни и реактивни средини што се среќаваат во процеси како што се MOCVD и EPI. Овие процеси се составен дел на обработката на нафора и производството на уреди. Дополнително, нашите облоги се добро прилагодени за примена во вакуумски печки и загревање на примероци, каде што се среќаваат средини со висок вакуум, реактивна и кислородна средина.


Во VeTek Semiconductor, ние нудиме сеопфатно решение со нашите напредни способности за машинска продавница. Ова ни овозможува да ги произведуваме основните компоненти користејќи графит, керамика или огноотпорни метали и да ги нанесуваме керамичките облоги SiC или TaC во куќата. Ние, исто така, обезбедуваме услуги за обложување на деловите што ги набавуваат клиентите, обезбедувајќи флексибилност за задоволување на различни потреби.


Нашите производи за обложување со силикон карбид се широко користени во Si epitaxy, SiC епитаксија, MOCVD систем, RTP/RTA процес, процес на офорт, ICP/PSS процес на офорт, процес на различни типови LED, вклучувајќи сини и зелени LED, UV LED и длабоко UV LED итн., Која е прилагодена на опрема од LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и така натаму.


Делови од реакторот што можеме да ги направиме:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Слој со силикон карбид неколку уникатни предности:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Параметар за обложување со силикон карбид на полупроводник VeTek

Основни физички својства на CVD SiC облогата
Имотот Типична вредност
Кристална структура FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана
Густина на облогата на SiC 3,21 g/cm³
SiC облога Цврстина 2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g)
Големина на жито 2 ~ 10 μm
Хемиска чистота 99,99995%
Топлински капацитет 640 J·kg-1· К-1
Температура на сублимација 2700 ℃
Јачина на свиткување 415 MPa RT 4-точка
Модулот на Јанг 430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
Топлинска спроводливост 300 W·m-1· К-1
Термичка експанзија (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
SIC обложена палачинка подложни за LPE PE3061S 6 '' нафора

SIC обложена палачинка подложни за LPE PE3061S 6 '' нафора

Подлога за палачинки обложена со SiC за наполитанки LPE PE3061S 6" е една од основните компоненти што се користат во обработката на епитаксијална обланда од 6 инчи. VeTek Semiconductor моментално е водечки производител и добавувач на SiC обложен за палачинки за наполитанки LPE PE3061S 6" во Кина. Поддржувачот за палачинки обложен со SiC што го обезбедува има одлични карактеристики како што се висока отпорност на корозија, добра топлинска спроводливост и добра униформност. Со нетрпение го очекуваме вашето барање.
SIC обложена поддршка за LPE PE2061S

SIC обложена поддршка за LPE PE2061S

Vetek Semiconductor е водечки производител и снабдувач на компоненти обложени со графит SIC во Кина. SIC обложена поддршка за LPE PE2061S е погодна за LPE силиконски епитаксичен реактор. Како дното на базата на барел, SIC обложена поддршка за LPE PE2061S може да издржи високи температури од 1600 степени Целзиусови, со што ќе се постигне ултра-долг живот на производот и да ги намали трошоците на клиентите. Се радувам на вашето испитување и понатамошна комуникација.
Горна плоча обложена со SiC за LPE PE2061S

Горна плоча обложена со SiC за LPE PE2061S

Vetek Semiconductor е длабоко ангажиран во производи за обложување на SIC многу години и стана водечки производител и снабдувач на SIC обложена врвна плоча за LPE PE2061 во Кина. SIC обложената горната плоча за LPE PE2061S што ја нудиме е дизајнирана за LPE силиконски епитаксични реактори и се наоѓа на врвот заедно со базата на барел. Оваа SIC обложена врвна плоча за LPE PE2061S има одлични карактеристики како што се висока чистота, одлична термичка стабилност и униформност, што помага да се развиваат висококвалитетни епитаксични слоеви. Без оглед на кој производ ви треба, со нетрпение го очекуваме вашето испитување.
Подлога за буриња обложена со SiC за LPE PE2061S

Подлога за буриња обложена со SiC за LPE PE2061S

Како една од водечките фабрики за производство на нафора за нафора во Кина, VeTek Semiconductor постигна континуиран напредок во производите за чувствителни нафора и стана прв избор за многу производители на епитаксиални обланди. Поддржувачот за буриња обложен со SiC за LPE PE2061S обезбеден од VeTek Semiconductor е дизајниран за наполитанки LPE PE2061S 4''. Сусцепторот има издржлива обвивка од силициум карбид што ги подобрува перформансите и издржливоста за време на процесот на LPE (течна фаза на епитаксијата). Добредојдовте на вашето барање, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер.
Цврста глава за туширање со гас

Цврста глава за туширање со гас

Цврстата глава за туширање на гас SIC игра голема улога во правењето на гасната униформа во процесот на CVD, со што се обезбедува униформа загревање на подлогата. Vetek Semiconductor е длабоко вклучен во областа на цврсти SIC уреди многу години и е во состојба да им обезбеди на клиентите прилагодени цврсти глави за туширање со SIC гас. Без оглед какви се вашите барања, со нетрпение го очекуваме вашето испитување.
Процес на таложење на хемиска пареа цврст прстен на работ

Процес на таложење на хемиска пареа цврст прстен на работ

Полупроводникот на Ветек отсекогаш бил посветен на истражување и развој и производство на напредни полупроводнички материјали. Денес, Vetek Semiconductor постигна голем напредок во процесот на таложење на хемиски пареа, цврсти производи од прстен на раб и е во состојба да им обезбеди на клиентите високо прилагодени цврсти прстени на SIC Edge. Цврстите прстени на работ на работ обезбедуваат подобра униформност на гравирање и прецизно позиционирање на нафтата кога се користат со електростатско чак, обезбедувајќи конзистентни и сигурни резултати од гравирање. Се радувам на вашето испитување и да станете едни на други долгорочни партнери.
Како професионален производител и добавувач на 77 фунти во Кина, имаме своја фабрика. Без разлика дали ви требаат прилагодени услуги за да ги задоволите специфичните потреби на вашиот регион или сакате да купите напредни и издржливи Силициум карбид слој направени во Кина, можете да ни оставите порака.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept