Која е специфичната примена на TAC обложени делови во полето на полупроводници?

Физички својства на танталум карбид (TAC) облога

Примена на обложување на танталум карбид (TAC) во полето на полупроводници

1. Компоненти на реакторот за епитаксичен раст

Обвивката TAC е широко користена во компонентите на реакторот за таложење на хемиски пареносачи на нафта, сателитски јадења, млазници и сензори. Овие компоненти бараат екстремно висока издржливост и стабилност во висока температура и корозивни средини. TAC облогата може ефикасно да го прошири нивниот животен век и да го подобри приносот.

2. Единствена компонента за раст на кристалот

Во единечен процес на раст на кристалот на материјали како што се Sic, GAN и алуминиум нитрид (AIN),TAC облогасе применува на клучните компоненти како што се крцкави, држачи за кристали на семе, водичи и филтри. Графитните материјали со TAC облогата можат да ја намалат миграцијата на нечистотии, да го подобрат квалитетот на кристалот и да ја намалат густината на дефектот.

3. Индустриски компоненти на висока температура

TAC облогата може да се користи во индустриски апликации со висока температура, како што се резистивни елементи за греење, млазници за инјектирање, заштитени прстени и тела за ладење. Овие компоненти треба да одржат добри перформанси во средини со висока температура, а отпорноста на топлина на TAC и отпорот на корозија го прават идеален избор.

4. Грејачи во системите MOCVD

Грејачите со графит-обложени со TAC се успешно воведени во системите за таложење на органска хемиска пареа (MOCVD). Во споредба со традиционалните PBN-обложени грејачи, грејачите на TAC можат да обезбедат подобра ефикасност и униформност, да ја намалат потрошувачката на енергија и да ја намалат емисивноста на површината, со што ќе се подобри интегритетот.

5. носачи на нафта

Носачите на нафта обложени со TAC играат важна улога во подготовката на полупроводнички материјали од трета генерација како што се SIC, AIN и GAN. Студиите покажаа дека стапката на корозија наTAC облогиВо високо-температура амонијак и водородни средини е многу пониско од онаа наSic облоги, што го прави да покаже подобра стабилност и издржливост при долгорочна употреба.