Вести

Силиконските карбид (SIC) печки за раст на кристалот играат клучна улога во производството на SIC нафта со високи перформанси за уредите за полупроводници од следната генерација. Сепак, процесот на растење на висококвалитетни кристали на SIC претставува значителни предизвици. Од управување со екстремни термички градиенти до намалување на дефектите на кристалот, обезбедување униформа раст и контролирање на трошоците за производство, на секој чекор се потребни напредни инженерски решенија. Оваа статија ќе ги анализира техничките предизвици на печките за раст на кристалот SIC од повеќе перспективи.

Smart Cut е напреден процес на производство на полупроводници заснован на јонска имплантација и соблекување на нафта, специјално дизајниран за производство на ултра-тенки и високо униформа 3C-SIC (кубни силиконски карбид) нафори. Може да пренесе ултра-тенки кристални материјали од една подлога во друга, со што се кршат оригиналните физички ограничувања и промена на целата индустрија на подлогата.

При подготовката на високо-квалитетни и високо-приносни силиконски карбидни подлоги, јадрото бара прецизна контрола на температурата на производството со добри материјали за термичко поле. Во моментов, комплетите за термичко поле, главно се користат се графитни структурни компоненти, чии функции се да се загреат стопениот јаглероден прав и силиконскиот прав, како и да се одржи топлината.

Кога ќе ги видите полупроводниците од трета генерација, сигурно ќе се прашувате кои биле првите и вторите генерации. „Генерацијата“ овде е класифицирана врз основа на материјалите што се користат во производството на полупроводници.

Електростатскиот чак (ЕСС), познат и како електростатски чак (ЕСС, Е-Чак), е тела што го користи принципот на електростатска адсорпција за да го држи и поправи материјалот за adsorbed. Погоден е за вакуум и плазма околини.

Носачи на нафта SIC, како клучни потрошни материјали во синџирот на индустрија за полупроводници од трета генерација, нивните технички карактеристики директно влијаат на приносот на епитаксичен раст и производство на уреди. Со зголемената побарувачка за високо-напонски и високо-температурни уреди во индустрии, како што се 5G базни станици и нови енергетски возила, истражувањето и примената на носителите на нафори SIC сега се соочуваат со значителни можности за развој.