Вести

Дознајте како графитните прстени обложени со пиролитички јаглерод VETEK (PyC) ја подобруваат термичката стабилност, ја намалуваат контаминацијата и го продолжуваат животниот век на компонентите во процесите на раст на SiC кристали, епитаксија, CVD и полупроводнички процеси со висока температура.

Откријте како CVD TaC облогата го подобрува растот на SiC кристалите и производството на полупроводници со ултра висока термичка стабилност, отпорност на корозија, сузбивање на нечистотии и супериорни перформанси во апликациите MOCVD и епитаксии.

Погледнете ги клучните компоненти на Aixtron G10 за системи за епитаксии со висока температура SiC. Ги покриваме графитните делови обложени со CVD SiC, компонентите за обложување TaC и структурите на топлинското поле - и како тие помагаат во стабилноста на процесот, контролата на чистотата и приносот на нафора во напредното производство на полупроводници.