Вести

Кварцниот брод е клучна компонента што носи оптоварување што се користи во процесот на производство на полупроводници. Главно се користи за обработка на висока температура на нафора, како што се дифузија, оксидација и полнење. Неговата одлична термичка стабилност, ниските карактеристики на загадување и отпорноста на корозијата го прават неопходен материјал во индустријата за полупроводници. Оваа статија ќе ги разгледа материјалите, физичките својства, класификацијата, сценаријата за примена на кварцниот брод и неговите разлики од графитниот брод PECVD.

Основниот материјал на графитниот брод PECVD е изотропниот графитски материјал со висока чистота (чистотата е обично ≥99,999%), кој има одлична електрична спроводливост, термичка спроводливост и густина. Во споредба со обичните графитни чамци, графитните чамци PECVD имаат многу предности на физичка и хемиска сопственост и главно се користат во полупроводничките и фотоволтаичните индустрии, особено во процесите на PECVD и CVD.

Графитските ленти MOCVD играат важна улога во епитаксијалниот процес. Оваа статија прави детална анализа за изборот на графитни ленти MOCVD од перспективите на материјалните својства и сценаријата за примена.