Што е кварц брод?

Кварцниот брод е клучна компонента на лежиштата што се користи во процесот на производство на полупроводници, главно користен за обработка на нафори со висока температура, како што се дифузија, оксидација и прицврстување. Неговата одлична термичка стабилност, ниските карактеристики на загадување и отпорноста на корозијата го прават неопходен материјал во индустријата за полупроводници. Оваа статија ќе ги разгледа материјалите, физичките својства, класификацијата, сценаријата за апликации и разликите помеѓу бродот на кварц и графитниот брод PECVD.

Ⅰ. Материјал на кварцниот брод

Главната компонента на кварцниот превозник е силикон диоксид со висока чистота (SiO₂), а чистотата обично треба да достигне повеќе од 99,99% (полупроводнички одделение). Овој материјал со висока чистота кварц гарантира дека кварцниот носач нема да воведе нечистотии за време на процесот на производство на полупроводници за да се намали загадувањето на металните нечистотии на нафтата.

Според процесот на подготовка, кварцните материјали можат да се поделат во две категории:

● Природен кварц: Направено од прочистување на кристалот, со висока содржина на хидроксил (околу 100-200 ppm), ниска цена, но слаба толеранција кон ненадејни промени на висока температура.

● Синтетички кварц: Синтетизирано со таложење на хемиска пареа (CVD) или електрофузија, со ниска содржина на хидроксил (-OH) (<1 ppm), подобра термичка стабилност и погодна за процеси на висока температура (како што се оксидација и дифузија).

Покрај тоа, некои кварцни чамци се допираат со метали како што се титаниум (ТИ) или алуминиум (АЛ) за да се подобри отпорноста на деформацијата или да се прилагоди светлосна трансмисија за да се задоволат потребите на УВ -процесите.

Ⅱ. Кои се главните физички својства на кварцните чамци?

● Отпорност на висока температура: Точката на топење на кварцот е дури 1713 ° C, и може да работи стабилно на 1200 ° C подолго време и да издржи 1500 ° C за кратко време.

● Низок термички коефициент на експанзија: Коефициентот на термичка експанзија е само 0,55 × 10⁻⁶/° C. Оваа одлична изведба обезбедува димензионална стабилност на високи температури и избегнува пукање како резултат на термички стрес.

● Хемиска инертност: Освен хидрофлуорорна киселина (HF) и топла фосфорна киселина, кварцот може да одолее на силни киселини, силни алкали и повеќето корозивни гасови (како што се Cl₂, O₂).

● Електрична изолација: Отпорноста е дури 10⁶Ω · cm, избегнувајќи мешање во дистрибуцијата на електричното поле на процесот на плазма.

● Светло пренесување: Одлична пренесување во ултравиолетовата до инфрацрвениот опсег (＞ 90%), погодна за процеси со помош на светлина (како што е ултравиолетово лекување).

Iii. Класификација на кварцни чамци

Според различни структури на дизајнирање и сценарија за употреба, кварцните чамци можат да се поделат во следниве категории:

● Хоризонтален кварц брод

Применливо за печки за хоризонтални цевки (хоризонтална дифузна печка), што се користи за оксидација, дифузија, полнење и други процеси.

Карактеристики: Може да носи 100-200 нафора, обично со отворен или полу-затворен дизајн.

● Вертикален кварц брод

Применливо за вертикални печки (вертикална печка), што се користи за процеси на LPCVD, процеси на оксидација и прицврстување.

Карактеристики: Покомпактна структура, може да го зголеми капацитетот за носење на нафта и да го намали загадувањето на честички во текот на процесот.

● Прилагоден кварц брод

Дизајнирано според различни барања за процеси, може да се користи поддршка за единечна нафора или специјална структура за стегање за да се оптимизираат ефектите за обработка на нафта.

Како водечки производител и снабдувач на чамци од кварц во Кина,Ветексемион може да дизајнира и произведува прилагодени производи на кварц -превозникот според вашите вистински потреби. За повеќе детали за производот, погледнете на:

Iv. Кои се сценаријата за апликација на кварцниот брод во производството на полупроводници?

Кварцните чамци се користат во многу клучни процесни врски на производство на полупроводници, главно вклучувајќи ги и следниве сценарија за апликации:

4.1 Термичка оксидација

● Опис на процесот: Нафора се загрева во околина со висока температура кислород или водена пареа за да се формира филм со силикон диоксид (SIO₂).

● Карактеристики на кварцниот брод:

1) Висока отпорност на топлина, може да издржи високи температури од 1000 ~ 1200 ° C.

2) Хемиска инертност, кварцните чамци се отпорни на силни киселини, силни алкали и најкорозивни гасови, така што може да избегне да влијае на квалитетот на оксидниот филм.

4.2 Процес на дифузија

● Опис на процесот: Нечистотиите (како што се фосфор и бор) се шират во силиконскиот нафта под услови на висока температура за да се формира допинг слој.

● Карактеристики на кварцниот брод:

1) Ниска контаминација, спречувајќи метална контаминација да влијае на дистрибуцијата на концентрацијата на допинг.

2) Висока термичка стабилност, со термички коефициент на експанзија од само 0,55 × 10⁻⁶/° C, обезбедувајќи униформа процес на дифузија.

4.3 Процес на полнење

● Опис на процесот: Третманот со висока температура се користи за отстранување на стресот, подобрување на структурата на кристалот на материјалот или активирање на слојот на јонска имплантација.

● Карактеристики на кварцниот брод:

1) Со точка на топење дури 1713 ° C, може да издржи брзо загревање и ладење за да се избегне пукање предизвикано од термички стрес.

2) Прецизна контрола на големината за да се обезбеди униформа загревање.

4.4 Депонирање на хемиски пареа со низок притисок (LPCVD)

● Опис на процесот: Во околина со низок притисок, униформа тенок филм како што е силикон нитрид (Si₃n₄) се формира преку реакција на гасна фаза.

● Карактеристики на кварцниот брод:

1) Погодно за вертикални цевки за печка, може да ја оптимизира униформноста на таложењето на филмот.

2) Ниско загадување на честички, подобрување на квалитетот на филмот.

Ⅴ. Кои се разликите помеѓу бродот на кварц и графитниот брод ПЕЦВД?

Типични сценарија за разлика:

● Процес на PECVD: Графитните чамци можат да ја оптимизираат плазмата униформност заради нивната спроводливост и не бараат висока температура на перформанси на кварц во околини со ниска температура (300-400 ° C).

● Печка за оксидација на висока температура: Кварцните чамци на ветексемион се незаменливи за нивната отпорност на висока температура, додека графитот лесно се оксидира за да се генерира Co/Co₂ на високи температури во кислородна околина, што ја загадува комората.