Што е графит брод PECVD?

Ⅰ. Кој е материјалот на графитниот брод PECVD?

Основниот материјал наПЕЦВД графит брод(Плазма засилен графит брод со таложење на хемиски пареа) е изработен од висока чистотаизотропски графитски материјал(Чистотата е обично ≥99,999%) и е модифицирана со специјални процеси (како што е CVD или површинска облога на хемиска пареа). Графит со висока чистота е широко користен во системите PECVD заради неговата одлична електрична спроводливост и висока топлинска спроводливост (80 ~ 150 W/m · K). ОваГрафитски материјал со висока чистотаМоже да одржува добра структурна стабилност и хемиска стабилност во околини со висока температура и може да одолее на корозијата од реактивни гасови и плазма.

Ⅱ. Кои се физичките својства на графитниот брод?

Физичките својства на графитните чамци PECVD вклучуваат:

● Електрична спроводливост: Изостатичкиот графит има одлична електрична спроводливост, што му овозможува ефикасно да управува со електрична енергија и да промовира генерирање и одржување на плазмата за време на процесот на PECVD.

●  Термичка спроводливост: Високата термичка спроводливост на графит (околу 80 ~ 150 w/m · k) помага во одржување на стабилна температурна околина за време на процесот на PECVD и да се обезбеди униформа таложење на тенки филмови.

●  Густина: Густината на комерцијалниот поликристален графит се движи од 1,30 g/cm³ до 1,88 g/cm³. Колку е поголема густината, толку се подобри физичките и механичките својства, што можат да го подобрат услужниот век на производот.

Ⅲ. Кои се предностите на графитниот брод PECVD во споредба со обичниот графит брод?

Во споредба со обичните графитни чамци, графитните чамци PECVD ги имаат следниве предности:

Ⅳ. Зошто да го изберете графитниот брод на Ветексемион ПЕЦВД?

Како што сите знаеме, Ветексемион е водечки производител и снабдувач на производи за обложување на полупроводници играфитни производиво Кина. НашиотПЕЦВД графитни чамциглавно се користат во полупроводниците и фотоволтаичните индустрии, особено во процесите на PECVD и CVD.

Графитните чамци обично се користат како носители за носење на силиконски нафора или други материјали за да се обезбеди безбедно ракување и транспорт на овие материјали во висока температура и плазма околини. На пример, во процесот на производство на полупроводници, графитните чамци на Ветексемион ПЕЦВД се дизајнирани за процеси на таложење на хемиски пареа засилени со плазма. Графитниот брод ја игра улогата на депонирање на силиконски нитрид (SINₓ) слоеви на пасивација и ниски диелектрични констани (ниско-K) филмови.

Во фотоволтаичното поле, графитните чамци PECVD се користат за подготовка на силиконски соларни ќелии со тенки филмови (како што се аморфни силиконски A-Si: H) и слоеви на пасивацијата на грбот на клетките на PERC. ПЕЦВД -графитниот брод на Ветексемион го оптимизира процесот на обложување со ефикасно растојание на силиконските нафора и поттикнување на празнење на сјај за да се постигне униформа таложење на облогата.

Уште поважно, Ветексемион може да обезбеди кориснички производи и технички услуги и може да дизајнира и произведува графитни производи со брод со различни спецификации според вашите вистински барања за процеси. Изборот на ветексемион значи избор на лидер во индустријата со силна сила во полупроводниците и фотоволтаичните индустрии. Искрено со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер.