Како TaC облогата го подобрува работниот век на графитните компоненти? - Полупроводник VeTek

CVD Tantalum Carbide Coitingсе произведува со таложење на пареа на танталум карбид (TAC) на површината на подлогата со графит со висока чистота со употреба на процесот на комерцијална хемиска пареа на Vetek Semiconductor (CVD).

Обложувањата на танталум карбид (TAC) значително го подобруваат животот на услугата наделови од графитпреку повеќе механизми, особено во високотемпературни, високо корозивни средини како што се производството на полупроводници и растот на кристалите. 

Еве ги специфичните причини зоштоTAC облогиПодобрете ја трајноста на графитните делови:

●  Подобрена отпорност на високи температури

Екстремно висока термичка стабилност: TAC обложувањата се во можност да останат стабилни на екстремно високи температури над 2000 ° C и дури можат да работат ефикасно на 2200C. Оваа толеранција на висока температура му овозможува на облогата да издржи ерозија на стопени метали и хемиски гасови за време на производството на полупроводници, а со тоа да го продолжи услужниот век на графитните делови.

● Одлична отпорност на корозија

Хемиска отпорност на ерозија: TAC обложувањата имаат силна отпорност на корозивни гасови како што се водород, амонијак и силиконска пареа, што може ефикасно да ги спречи овие гасови да го расипуваат графитскиот подлога и да го намалат ризикот од оштетување на деловите од графит во груби околини. Ова значи дека за време на процесот на раст на кристалот, облогата може да ја инхибира миграцијата на нечистотии и да го подобри квалитетот и приносот на кристалот.

●  Подобрени механички својства

Добра адхезија и отпорност на термички шок: TAC обложувањата имаат силна лепење на графитската подлога, осигурувајќи дека облогата нема да се олупи или разграничи за време на операциите со висока температура. Покрај тоа, неговата одлична отпорност на термички шок може да издржи брзи промени во температурата без пукање или пилинг, што дополнително го продолжува услужниот век на делови од графит.

●  Намалете ја контаминацијата со нечистотии

Ултра висока чистота: TaC облогите имаат екстремно ниска содржина на нечистотии, што помага да се намалат проблемите со контаминација што може да се појават при услови на висока температура. Со спречување на несаканите нечистотии да мигрираат на епитаксиалниот слој, TaC облогите значително ја подобруваат чистотата и квалитетот на процесот на растење на кристалите.

● Оптимизирајте го термичкото управување

Подобрување на термичката спроводливост и отпорност: TAC обложувањата имаат релативно ниска термичка спроводливост и отпорност, што му овозможува на неговата примена во грејачи и други компоненти на термичко управување да ја подобрат енергетската ефикасност и да ја намалат загубата на енергија. Оваа одлика не само што ја подобрува ефикасноста на работењето, туку и го намалува материјалниот замор и оштетување предизвикано од прегревање.