СИК КАНТИЛЕВЕР СВЕТСКИ

Преглед на употреба на производи

Сик -конзолните лопатки главно се користат во опремата за производство на полупроводници како компоненти за поддршка и пренесување на нафта. Неговата основна функција е стабилно и прецизно обработка на силиконските нафори во екстремни услови на процесите, како што се висока температура и висока корозија, обезбедувајќи непречен и ефикасен процес на производство.

.

SIC е напреден керамички материјал чии одлични физички својства му даваат неспоредлива предност во полето на полупроводници. Следниве се клучните физички параметри поврзани со лопатки на конзоли:

● Висока чистота: Употребата на SIC материјал со висока чистота може да го минимизира загадувањето на процесите и да го подобри приносот на производот.

● Одлична отпорност на висока температура: SIC има точка на топење до 2830 ° C, што му овозможува да одржува структурен интегритет во екстремни температурни средини, како што се гравирање на плазма и прицврстување на висока температура, а долгорочната работна температура може да достигне повеќе од 1000 ° C.

● Висока цврстина и отпорност на абење: Цврстината на МОХС е 9-9,5, втора само за дијамант, давајќи им на лопатки од конзола одлична отпорност на абење и одржување на димензионалната стабилност за време на преносот на нафта со висока фреквенција.

● Одлична термичка спроводливост: Топлинската спроводливост на керамиката Sic е дури 120-250 w/(m · k) (типична вредност), што може брзо да ја расипе топлината и да избегне локално прегревање што може да го оштети нафтата.

● Низок термички коефициент на експанзија: Нискиот коефициент на термичка експанзија (околу 4,0 × 10⁻⁶ /k) обезбедува димензионална стабилност кога температурата се менува, избегнува стрес предизвикан од термичка експанзија и контракција и со тоа го намалува ризикот од оштетување на нафта.

Ⅲ. Сценари за апликации на лопатки од конзола

Уникатните својства на лопатките на конзолите на Sic им овозможуваат да играат клучна улога во повеќе врски на производство на полупроводници:

● Опрема за гравирање во плазма: Во комората за гравирање во плазма, лопатките за конзола на SIC служат како потпори за нафта, што може да издржи на бомбардирање во плазма и ерозија на корозивна гас, истовремено одржувајќи димензионална стабилност, обезбедувајќи точност на гравирање и траење на животот на опремата.

● Опрема за таложење на тенок филм (CVD/PVD): Во процесот на хемиско таложење на пареата (CVD) и таложење на физичко пареа (PVD), лопатките за конзола SIC се користат за поддршка на нафорите. Нивната одлична отпорност на висока температура и термичка спроводливост помагаат униформно да ги загреат нафорите и да спречат загадување на честички, генерирана за време на процесот на таложење на тенок филм.

● Систем за трансфер на нафора: Во автоматскиот систем за пренесување на нафора, лопатките Sic Contilever можат да издржат механичко движење со висока фреквенција заради нивната голема цврстина и отпорност на абење, обезбедувајќи точен и брз трансфер на нафора помеѓу различни процесни комори, со што се намалува ризикот од оштетување на нафта и загадување.

● Процес на прицврстување на висока температура: Во печката за прицврстување на висока температура, лопатките со конзоли можат да издржат ултра-високи температурни околини, да обезбедат стабилна поддршка за нафорите и да обезбедат униформност и ефикасност на процесот на полнење.

Ветексемион е добро запознаен со строгите барања на полупроводнички процеси за квалитет на производот. Затоа, ние поддржуваме кориснички услуги и можеме да обезбедиме прилагодено дизајнирање и производство на лопатка SIC конзола според вашата специфична опрема и барања за процеси. И, исто така, ќе контролираме строга контрола на квалитетот за да обезбедиме секој производ да претрпи строги инспекции за квалитет за да се обезбеди дека ги исполнува највисоките стандарди во индустријата.

Уште поважно, техничкиот тим на Vetek Semiconductor ќе ви обезбеди сеопфатна техничка консултација и решенија за производи. Изборот на нашата лопатка SIC Contilever значи избор на поголема ефикасност на производството, подолг живот на опрема и подобар принос на производи. Се радувам на вашата понатамошна консултација.