Оксидациона и дифузна печка

Оксидационите и дифузните печки се користат во различни области како што се полупроводнички уреди, дискретни уреди, оптоелектронски уреди, електронски уреди за напојување, соларни ќелии и производство на интегрални кола во големи размери. Тие се користат за процеси вклучувајќи дифузија, оксидација, жарење, легирање и синтерување на наполитанки.

VeTek Semiconductor е водечки производител специјализиран за производство на графит со висока чистота, силициум карбид и кварцни компоненти во печки за оксидација и дифузија. Посветени сме на обезбедување висококвалитетни компоненти за печки за полупроводничките и фотоволтаичните индустрии и сме во првите редови на технологијата за обложување на површините, како што се CVD-SiC, CVD-TaC, пиројаглеродот итн.

Предностите на VeTek Semiconductor силициум карбид компоненти:

Отпорност на високи температури (до 1600℃)

Одлична топлинска спроводливост и топлинска стабилност

Добра хемиска отпорност на корозија

Низок коефициент на термичка експанзија

Висока јачина и цврстина

Долг работен век

Во печките за оксидација и дифузија, поради присуството на висока температура и корозивни гасови, многу компоненти бараат употреба на материјали со висока температура и отпорни на корозија, меѓу кои најчесто користен избор е силициум карбид (SiC). Следниве се вообичаените компоненти на силициум карбид кои се наоѓаат во печките за оксидација и дифузните печки:

Брод со нафора

Брод со нафора од силициум карбид е контејнер што се користи за носење силиконски наполитанки, кои можат да издржат високи температури и нема да реагираат со силиконски наполитанки.

Цевка за печка

Цевката на печката е основна компонента на дифузионата печка, која се користи за сместување на силиконски наполитанки и контрола на реакциската средина. Цевките за печка од силициум карбид имаат одлични перформанси на висока температура и отпорност на корозија.

Плоча за преграда

Се користи за регулирање на протокот на воздух и дистрибуција на температурата внатре во печката

Заштитна цевка за термоспој

Се користи за заштита на термопаровите за мерење на температурата од директен контакт со корозивни гасови.

Конзола лопатка

Конзолните лопатки со силициум карбид се отпорни на висока температура и корозија и се користат за транспорт на силиконски чамци или кварцни чамци кои носат силиконски наполитанки во цевките на дифузната печка.

Гасен инјектор

Се користи за внесување на реакционен гас во печката, таа треба да биде отпорна на висока температура и корозија.

Носач на чамци

Носачот за чамци со нафора од силициум карбид се користи за фиксирање и поддршка на силиконските наполитанки, кои имаат предности како што се висока јачина, отпорност на корозија и добра структурна стабилност.

Врата на печката

На внатрешната страна на вратата на печката може да се користат и премази или компоненти од силициум карбид.

Елемент за греење

Грејните елементи од силициум карбид се погодни за високи температури, висока моќност и можат брзо да ги зголемат температурите до над 1000℃.

SiC лагер

Се користи за заштита на внатрешниот ѕид на цевките од печката, може да помогне да се намали загубата на топлинска енергија и да се издржат суровите средини како што се висока температура и висок притисок.