Што е електростатски чак (ЕСС)?

Електростатскиот чак (ЕСС), познат и како електростатски чак (ЕСС, Е-Чак), е тела што го користи принципот на електростатска адсорпција за да го држи и поправи материјалот за adsorbed. Погоден е за вакуум и плазма околини. Неговата главна функција е да се adsorb ultra-Исчистете тенки чаршафи (како што се силиконски нафора) и чувајте го adsorbed материјалот на добра рамност, што исто така може да ја инхибира деформацијата на adsorbed материјалот за време на процесот и може да ја прилагоди температурата на adsorbate.

Електростатска чак (ESC) е посебен вид чак што користи електростатска сила за да ги држи, притиска и собере предмети (работни парчиња). Секој материјал носи позитивни и негативни обвиненија што се невидливи за голо око. Кога материјалот е поставен на ЕСС и се применува биполарен напон на внатрешните електроди на ЕСС, позитивните и негативните полнежи ќе се движат во рамките на материјалот за да одговараат на поларитетот на внатрешните електроди на ЕСС. Оваа привлечност помеѓу ЕСС и материјалот се нарекува електростатска сила и е исто така основен принцип зад нашите Чукови.

Предности на производот

Има широк опсег на работна температура (-50 до 700 ℃)

Овие електростатски чаши за вшмукување имаат одлична јачина, топлинска спроводливост и отпорност на термички шок и можат да се прилагодат на широк опсег на температура преку комерцијалната контрола на отпорност на волумен на керамички волумен на NGK.

Висока отпорност на корозија

Овие електростатски чаши за вшмукување имаат одлична отпорност на корозија на халогени гасови.

Обработка на ниски честички

Третманот со ниски честички може да се постигне преку површински третман и специјално чистење

Висока чистота

Производи со чистота од 99,9% или повисоки се исто така достапни.

Функција за греење

Технологијата за вградување на елементите за греење со висока прецизност може да се интегрира со функцијата на грејачот, а температурата на нафтата може да се контролира во рамките на 1%.

Функција за ладење

Овие електростатски чаши за вшмукување имаат екстремно високи перформанси за ладење со врзување на керамички плочи со висока термичка спроводливост и плочи за ладење.

Електрода за радио фреквенција

Масовно метални електроди истовремено можат да обезбедат стабилно стегање на нафора и производство на радиофреквенција на плазма.

Pараметар

1.Во областа на полупроводникот и електронското производство: за време на полупроводничките и електронските процеси на производство, се користат електростатско вшмукување чаши за да се поправат и ракуваат тенки и кревки силиконски нафора, нафора, итн. Неговите предности лежат во силна сила на адсорпција, без механички стрес и едноставна работа и едноставна работа, кои ефикасно го подобруваат производството на ефикасност и квалитетот на производот.

2. Индустрија за стакло и керамика: За време на процесите на сечење, мелење и ракување со стакло и керамика, електростатските чаши за вшмукување можат да извршат не-деструктивни операции на кршливи материјали, намалувајќи ја стапката на кршење на производот.

3. Производство на прецизни машини и оптички компоненти: За прецизни машини и оптички компоненти, електростатските чаши за вшмукување можат да обезбедат стабилна сила на адсорпција, спречувајќи деформација или гребнатини за време на обработката.

4. Автоматски производствени линии: Во автоматските производствени линии, електростатските чаши за вшмукување се користат во позиционирање, ракување и склопување на делови, итн., Зајакнување на степенот на автоматизација и ефикасност на производната линија.