Поддршка за графит обложена со TAC

Вие сте добредојдени да дојдете во нашиот фабрички полупроводник на Ветек за да го купите најновиот продажен, ниска цена и висококвалитетен TAC обложен графит. Со нетрпение очекуваме да соработуваме со вас.

Тантал карбид керамички материјал точки на топење до 3880 ℃ е висока точка на топење и добра хемиска стабилност на соединението, неговата висока температурна околина сè уште може да одржува стабилни перформанси, покрај тоа, има и отпорност на висока температура, отпорност на хемиска корозија, добра хемикалија, добра хемикалија, добра хемикалија, добра хемикалија, добра хемикалија, добра хемикалија, добра хемикалија, добра хемикалија и механичка компатибилност со јаглеродни материјали и други карактеристики, што го прави идеален материјал за заштитен обложување на графит. Оставата за карбид Tantalum може ефикасно да ги заштити графитните компоненти од влијанието на топла амонијак, водород и силиконски пареа и стопена метал во околината на суровата употреба, значително да го прошират услужниот век на графитните компоненти и да ја инхибираат миграцијата на нечистотиите во графитот, Обезбедување на квалитет на раст на епитаксијата и кристалот. Главно се користи во влажен керамички процес.

Хемиско таложење на пареа (CVD) е најзрелиот и најоптималниот метод за подготовка за обложување со тантал карбид на површината на графитот.

Метод на обложување на CVD TAC за TAC обложен графит подлотор:

Процесот на обложување користи TACL5 и пропилен како извор на јаглерод и извор на танталум, и аргон како носач на гас за да го внесе пареата на танталум пентахлорид во комората на реакција по гасификација на висока температура. Под целната температура и притисок, пареата на претходниот материјал се adsorbed на површината на графитскиот дел и се појавуваат серија комплексни хемиски реакции како што се распаѓање и комбинација на извор на јаглерод и извор на танталум. Во исто време, исто така се вклучени серија на површински реакции, како што се дифузија на претходникот и десорпција на нуспроизводи. Конечно, на површината на графитниот дел се формира густ заштитен слој, кој го штити графитскиот дел од стабилен во екстремни услови на животната средина. Сценарите на апликација на графитните материјали се значително проширени.

Параметар на производот на TaC обложениот графит сусцептор:

Продавници за производство:

Преглед на синџирот на индустријата за епитаксии со полупроводнички чипови: