Што е Notch на наполитанки?

Силиконски наполитанкисе основата на интегрираните кола и полупроводничките уреди. Имаат интересна карактеристика - рамни рабови или ситни жлебови на страните. Тоа не е дефект, туку намерно дизајниран функционален маркер.Всушност, овој засек служи како насочен референца и маркер за идентитет во текот на целиот производствен процес.

Во раните денови, наполитанките најчесто користеле „рамна“ како маркер, што значи краток правилен сегмент заземјен на кружниот раб. Положбата и бројот на овие станови се користеа за да се разликуваат кристалните ориентации и типовите на допинг. Како што се зголемуваше големината на обландата и се подобруваше прецизноста на процесот, главните обланди од 200 mm и 300 mm во голема мера се стандардизираа на дизајнот на мал засек во облик на лак. Положбата на овој засек е дефинирана со стандарди и се наоѓа на фиксна ориентација, што се користи за означување на кристалната ориентација на обландата (на пример <100> или <111>) и за да се обезбеди заедничка референтна точка за следната опрема.

Која е функцијата на засекот на нафора? 

• Прво, обезбедува референца за усогласување на нафора. Клучните чекори како што се литографија, офорт и имплантација на јони бараат да се наредени повеќе слоеви на шаблони. Ако координатниот систем на секој слој не е конзистентен, финалните уреди ќе бидат погрешно порамнети и отстранети. Со откривање на положбата на засекот, опремата може брзо да воспостави унифициран координатен систем и потоа да користи ознаки за порамнување за да постигне прецизно преклопување.
• Второ, ги кодира информациите за нафора. Различните кристални ориентации и различните типови на допинг (како што се P-тип и N-тип) имаат различни карактеристики на материјалот и размислувања за дизајнот. Ориентацијата на засекот, комбинирана со ознаки од задната страна и други средства, овозможува производната линија брзо да ги идентификува наполитанките при автоматско ракување и сортирање, избегнувајќи мешање помеѓу различни типови производи.
• Трето, обезбедува безбедност при автоматско ракување. Современите фабрики широко користат роботски краци и системи за автоматско ракување со материјали (AMHS). Овие системи се потпираат на засекот за одредување на предната/задната страна и ориентацијата на обландата, спречувајќи погрешно вчитување или превртување што инаку би довело до губење на приносот.

За инженерите на уреди и процеси, засекот на обландата може да изгледа незначителен, но се протега низ целиот синџир на процесот од влечење на кристали, епитаксија и изработка на нафора сè до тестот за претходно пакување. Секогаш кога е вклучена „насока“ - кристална ориентација, усогласување на распоредот, ориентација на стрес или дури и дизајн на структурата на одредени уреди за напојување - овој мал геометриски маркер е скоро секогаш во позадина. Откако ќе ја разберете улогата на засекот, станува многу полесно да се следи како нафора „се движи“ низ производната линија и како секој чекор од процесот го гради својот координатен систем околу ова парче силикон.