Резервен дел за обложување на TAC

Тоа полупроводникПлоча за обложување TACе посебен материјал што е широко користен вополупроводникПроцес на производство. Во комбинација со висока цврстина и отпорност на абење, отпорност на висока температура, отпорност на корозија, низок коефициент на триење и добра термичка спроводливост, так -плочата за обложување игра незаменлива улога во многу врски на обработка на полупроводници.

Општо, апликациите наТак обложени плочиВо обработката на полупроводници се следниве:

● Подлога за раст на CVD/ALD: Високата отпорност на температурата, хемиската стабилност и нискиот коефициент на триење на так -обложените плочи ги прават идеални подлоги за раст на CVD/ALD. Може да обезбеди стабилна околина за раст за да се обезбеди униформност и густина на филмот.

●  Плоча за маска за гравирање: Високата цврстина и отпорност на корозија на так-обложени плочи им овозможуваат да издржат процеси со висока енергија, како што се гравирање на плазма, како плочи за маска за гравирање, заштита на основниот филм.

●  Подлога за полирање на CMP: Отпорност на абење и низок коефициент на триење на так -обложени плочи ги прават идеални материјали за влошки за полирање на CMP, кои можат ефикасно да ги отстранат честичките и дефектите на површината на филмот.

●  Цевка за печка со висока температура: Високата отпорност на температура и отпорност на корозија на так -обложени плочи им овозможуваат да се користат како цевки за печки во печки со висока температура за прицврстување на висока температура, дифузија и други процеси.

Технички параметри на обложување на CVD TAC：

Продавници за резервни делови на Vetek Semiconductor TAC：