CVD SIC заштитник за обложување

Позиционирање на производи и основни функции ：

CVD SIC заштитник за обложување е клучна компонента во епитаксијалната опрема LPE силиконски карбид, главно користена за заштита на внатрешната структура на комората на реакција и подобрување на стабилноста на процесот. Неговите основни функции вклучуваат:

Заштита на корозија: Силиконскиот карбид обвивка формирана од процесот на таложење на хемиска пареа (CVD) може да одолее на хемиската корозија на плазмата на хлор/флуор и е погодна за груби околини како што е опрема за гравирање;

Термичко управување: Високата термичка спроводливост на силиконскиот карбид материјал може да ја оптимизира температурната униформност во комората на реакција и да го подобри квалитетот на епитаксијалниот слој;

Намалување на загадувањето: Како компонента на поставата, може да ги спречи реакционите нуспроизводи директно да контактираат со комората и да го прошират циклусот на одржување на опремата.

Технички карактеристики и дизајн

Структурен дизајн:

Обично поделени на горните и долните делови од половина месечина, симетрично инсталирани околу фиоката за да формираат заштитна структура во форма на прстен;

Соработка со компоненти како што се ленти и глави за туширање со гас за да се оптимизираат дистрибуцијата на протокот на воздух и ефектите од фокусирање на плазмата.

Процес на обложување:

Методот CVD се користи за депонирање на облоги со висока чистота SIC, со униформност на дебелината на филмот во рамките на ± 5% и површинска грубост колку што е RA≤0,5 μm;

Типичната дебелина на облогата е 100-300μm, и може да издржи на висока температурна околина од 1600.

Сценарија за апликации и предности за перформанси ：

Применлива опрема:

Главно се користи за 6-инчен 8-инчен 8-инчен силиконски карбид епитаксијална печка, поддршка на Sic homoepitaxial раст;

Погодно за опрема за гравирање, опрема MOCVD и други сценарија за кои е потребна голема отпорност на корозија.

Клучни индикатори:

Коефициент на термичка експанзија: 4,5 × 10⁻⁶/k (совпаѓање со графит подлога за намалување на термичкиот стрес);

Отпорност: 0,1-10Ω · cm (барања за спроводливост на исполнување);

Услужен живот: 3-5 пати подолго од традиционалните кварц/силиконски материјали.

Технички бариери и предизвици

Овој производ треба да ги надмине тешкотиите во процесите, како што е контролата на униформноста на облогата (како што е компензација на дебелина на работ) и оптимизација на поврзување со интерфејс за обложување на подлогата (≥30mpa), а во исто време треба да одговара на големата ротација (1000rpm) и барањата за градиент на температурата на опремата LPE.