CVD TAC CASTION CAFER CARRIER

За време на процесот на производство на полупроводници, Vetek Semiconductor'sCVD TAC CASTION CAFER CARRIERе послужавник што се користи за носење нафора. Овој производ користи процес на таложење на хемиска пареа (CVD) за да премачка слој на TAC облога на површината наПодлога за носач на нафора. Оваа обвивка може значително да ја подобри оксидацијата и отпорноста на корозија на носачот на нафта, истовремено намалувајќи ја загадувањето на честички за време на обработката. Тоа е важна компонента во обработката на полупроводници.

Се занимава со полупроводнициCVD TAC CASTION CAFER CARRIERе составен од подлога и аОбвивка од танталум карбид (TAC).

Дебелината на обложувањата на карбид Танталум е обично во опсегот од 30 микрони, а TAC има точка на топење дури 3,880 ° C, додека обезбедува одлична корозија и отпорност на абење, меѓу другите својства.

Основниот материјал на носачот е изработен од графит со висока чистота илиСиликон карбид (sic), а потоа слој на TAC (цврстина на Knoop до 2000HK) е обложен на површината преку CVD процес за да се подобри неговата отпорност на корозија и механичка јачина.

За време на процесот на нафта, полупроводникот на ВетекCVD TAC CASTION CAFER CARRIERМоже да ги игра следниве важни улоги:

1. Заштита на нафора

Физичка заштита Носачот служи како физичка бариера помеѓу нафора и надворешни извори на механичко оштетување. Кога нафорите се пренесуваат помеѓу различна опрема за обработка, како што е помеѓу комора за таложење на хемикалии - пареа (CVD) и алатка за гравирање, тие се склони кон гребнатини и влијанија. Носачот на нафта за обложување CVD TAC има релативно тврда и мазна површина што може да издржи нормални сили за ракување и да спречи директен контакт помеѓу нафтата и грубите или остри предмети, со што се намалува ризикот од физичко оштетување на нафора.

Хемиска заштита TAC има одлична хемиска стабилност. За време на различни чекори за хемиски третман во процесот на нафта, како што е влажно гравирање или хемиско чистење, CVD TAC облогата може да ги спречи хемиските агенси да доаѓаат во директен контакт со материјалот на носачот. Ова го штити носачот на нафта од корозија и хемиски напад, осигурувајќи дека не се ослободуваат загадувачи од превозникот на нафорите, со што се одржува интегритетот на хемијата на површината на нафта.

2. Поддршка и усогласување

Стабилна поддршка на носачот на нафта обезбедува стабилна платформа за нафора. Во процесите каде нафорите се подложени на високо -температурен третман или околини со висок притисок, како што е во печка со висока температура за полнење, носачот мора да може да го поддржува нафтата рамномерно за да спречи искривување или пукање на нафтата. Соодветниот дизајн и високо -квалитетно обложување на TAC на превозникот обезбедуваат униформа дистрибуција на стрес низ нафтата, одржувајќи ја својата пловност и структурен интегритет.

Прецизно усогласување Точното усогласување е клучно за разни процеси на литографија и таложење. Носачот на нафора е дизајниран со прецизни карактеристики на усогласување. Оставата TAC помага да се одржи димензионалната точност на овие карактеристики на усогласување со текот на времето, дури и по повеќекратни намени и изложеност на различни услови за обработка. Ова осигурува дека нафорите се прецизно позиционирани во опремата за обработка, овозможувајќи прецизно моделирање и поставување на полупроводнички материјали на површината на нафтата.

3. Пренесување на топлина

Единствена дистрибуција на топлина во многу процеси на нафта, како што се термичка оксидација и CVD, прецизна контрола на температурата е неопходна. Носачот на нафта за обложување CVD TAC има добри својства на топлинска спроводливост. Може рамномерно да ја пренесе топлината на нафтата за време на операциите за греење и да ја отстрани топлината за време на процесите на ладење. Овој униформа пренесување на топлина помага да се намалат градиентите на температурата низ нафтата, минимизирајќи ги термичките стресови што можат да предизвикаат дефекти во уредите за полупроводници кои се фабрикувани на нафтата.

Подобрена ефикасност на топлина - Трансфер на пренесување ТАЦ -облогата може да ги подобри целокупните карактеристики на трансфер на превозникот на нафора. Во споредба со неоткриените носители или носители со други облоги, површината за обложување TAC може да има поповолна површина - енергија и текстура за размена на топлина со околината и самата нафора. Ова резултира во поефикасен пренос на топлина, што може да го скрати времето на обработка и да ја подобри ефикасноста на производството на процесот на производство на нафта.

4. Контрола на загадување

Карактеристики со ниско ниво на зачинување TAC облогата обично покажува ниско однесување на надминување, што е клучно во чистата околина на процесот на изработка на нафта. Излевањето на испарливи материи од носачот на нафора може да ја загади површината на нафтата и околината за обработка, што доведува до неуспеси на уредот и намалени приноси. Ниската природна природа на CVD TAC облогата гарантира дека превозникот не воведува несакани загадувачи во процесот, одржувајќи ги високите барања за чистота на производство на полупроводници.

Честички - слободна површина мазната и униформа природа на CVD TAC облогата ја намалува веројатноста за производство на честички на површината на носачот. Честичките можат да се придржуваат до нафтата за време на обработката и да предизвикаат дефекти во уредите за полупроводници. Со минимизирање на генерирање на честички, носачот на нафора на облогата TAC помага да се подобри чистотата на процесот на производство на нафта и да се зголеми приносот на производот.

Обложување на танталум карбид (TAC) на микроскопски пресек:

Основни физички својства на CVD TAC облогата：

Тоа полупроводникПродавници за производство на нафори на CVD TAC облога на нафори: