Носител на нафта Епи

Полупроводникот на Vetek поддржува кориснички услуги на производи, така што сопственикот на нафора на ЕПИ може да ви обезбеди кориснички услуги за производи врз основа на големината нанафта(100мм, 150мм, 200мм, 300мм, итн.). Искрено се надеваме дека ќе бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Функција и принцип на работа на сопствениците на нафта ЕПИ

Во областа на производството на полупроводници, процесот на епитаксијата е клучен за измислување уреди за полупроводници со високи перформанси. Во срцето на овој процес е носителот на нафта Епи, кој игра централна улога во обезбедувањето на квалитетот и ефикасноста наЕпитаксичен раст.

Носителот на нафтата ЕПИ првенствено е дизајниран за безбедно да го држи нафтата за време на процесот на епитаксијата. Неговата клучна задача е да го одржува нафтата во точно контролирана околина на температура и гас - проток. Оваа прецизна контрола овозможува епитаксијалниот материјал да биде рамномерно депониран на површината на нафтата, клучен чекор во креирањето на униформни и квалитетни полупроводнички слоеви.

Под високи температурни услови типични за процесот на епитаксијата, држачот на нафтата ЕПИ се истакнува во својата функција. Цврсто ја поправа нафтата во рамките на комората за реакција, додека скрупулозно избегнува какво било потенцијално оштетување, како што се гребнатини и спречува загадување на честички на површината на нафтата.

Материјални својства:ЗоштоСиликон карбид (sic)Сјае

Носителите на нафора на ЕПИ честопати се изработени од силиконски карбид (SIC), материјал кој нуди уникатна комбинација на корисни својства. SIC има низок термички коефициент на експанзија од приближно 4,0 x 10⁻⁶ /° C. Оваа карактеристика е клучна за одржување на димензионалната стабилност на држачот на покачени температури. Со минимизирање на термичката експанзија, тој ефикасно го спречува стресот на нафтата што инаку може да резултира од промени во големината на температурата.

Покрај тоа, SIC може да се пофали со одлична стабилност на висока температура. Може беспрекорно да ги издржи високите температури кои се движат од 1.200 ° C до 1.600 ° C потребни во процесот на епитаксијата. Во комбинација со својата исклучителна отпорност на корозија и восхитувачка топлинска спроводливост (обично помеѓу 120 - 160 W/MK), SIC се појавува како оптимален избор за епитаксични држачи на нафора.

Клучни функции во епитаксијалниот процес

Важноста на носителот на нафтата ЕПИ во епитаксијалниот процес не може да биде преценета. Функционира како стабилен носач под високи околини на температура и корозивни гас, осигурувајќи дека нафтата останува непогодена за време на епитаксичен раст и поттикнување на униформата развој на епитаксијалниот слој.

1.Сефер фиксација и прецизно усогласувањеНосител на нафора со висока прецизност ЕПИ, цврсто го позиционира нафтата во геометрискиот центар на комората за реакција. Оваа поставеност гарантира дека површината на нафтата формира идеален агол на контакт со проток на реакција на гас. Прецизното усогласување не е од суштинско значење само за постигнување униформа таложење на епитаксијален слој, туку и значително ја намалува концентрацијата на стресот како резултат на отстапување на положбата на нафтата.

2.УНФОРМИНА КОНТРОЛА ЗА РАБОТА И ТЕРМАЛНО ПОВЕЕИскористување на одличната термичка спроводливост на SIC материјалот, држачот на нафтата ЕПИ овозможува ефикасно пренесување на топлина во нафтата во високи температурни епитаксични околини. Истовремено, таа вежба фино контрола врз дистрибуцијата на температурата на системот за греење. Овој двоен механизам обезбедува конзистентна температура низ целата површина на нафора, ефикасно елиминирајќи го термичкиот стрес предизвикан од прекумерни градиенти на температурата. Како резултат, веројатноста за дефекти како нафта и пукнатини е значително минимизирана.

3. Контрола на загадување на честички и материјална чистотаУпотребата на подлоги со висока чистота SIC и обложени графитни материјали со CVD е игра - менувач во контрола на загадување на честички. Овие материјали значително ја намалуваат генерирањето и дифузијата на честичките за време на процесот на епитаксијата, обезбедувајќи беспрекорна околина за раст на епитаксијалниот слој. Со намалување на дефектите на интерфејсот, тие го подобруваат квалитетот и веродостојноста на епитаксијалниот слој.

4. Отпорност на корозијаЗа време наMOCVDили процеси на LPCVD, носителот на нафтата ЕПИ мора да издржи корозивни гасови како што се амонијак и триметил галиум. Најдоброто отпорност на корозија на SIC материјалите му овозможува на носителот да има продолжен животен век, а со тоа да се гарантира веродостојноста на целиот процес на производство.

Прилагодени услуги од Полупроводник на Ветек

Полупроводникот на Ветек е посветен на задоволување на различните потреби на клиентите. Ние нудиме прилагодени услуги на сопственикот на нафора ЕПИ прилагодени на разни големини на нафта, вклучувајќи 100мм, 150мм, 200мм, 300мм и пошироко. Нашиот тим на експерти е посветен на испорака на производи со висок квалитет кои точно одговараат на вашите барања. Искрено со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина, обезбедувајќи ви ги највисоките решенија за полупроводници.

SEM податоци за CVD SIC филмска структура на кристал:

Основни физички својства на CVD SIC облогата：

Споредба продавници за производство на нафора на полупроводници ЕПИ: