Дното на колекционерот за обложување

Полупроводникот на Vetek е производител посветен на обезбедување висок квалитетCVD TAC облогаи CVD SIC Collector Collector дно и соработувајте тесно со опрема Aixtron за да ги задоволи потребите на нашите клиенти. Без разлика дали е во оптимизација на процесот или развој на нови производи, ние сме подготвени да ви обезбедиме техничка поддршка и да одговориме на какви било прашања што може да ги имате.

Функција на јадрото на производот

Гаранција за стабилност на процесите

Контрола на градиентот на температурата: .51.5℃/cm@1200℃

Оптимизација на полето на проток: Специјалниот дизајн на каналот ја прави униформноста на дистрибуцијата на реакцијата на гас до 92,6%

Механизам за заштита на опрема

Двојна заштита:

Термички тампон за шок: Издржете 10 ℃/s Брза промена на температурата

Пресретнување на честички: стапици> 0,3μm честички на талог

Во областа на врвната технологија

Контрола на квалитетот на целиот процес

Систем за следливост на производството

Извор на суровини: Графит Токаи/Тојо од Јапонија, графит на СГЛ од Германија

Дигитален мониторинг на близнаци: Секоја компонента се совпаѓа со независна база на податоци за параметрите на процесот

Сценарио за апликација:

Производство на полупроводници од трета генерација

Сценарио: 6-инчен SIC епитаксијален раст (контрола на дебелина од 100-150 μm)

Компатибилен модел: Aixtron G5 WW/Crius II

Со користење на Aixtron SIC обложен колекционер Топ, може да се постигне колекционерски центар и SIC обложен, термичко управување и хемиска заштита во процесите на производство на полупроводници, може да се оптимизира животната средина за раст на филмот и може да се подобри квалитетот и конзистентноста на филмот. Комбинацијата на овие компоненти во опремата Aixtron обезбедува стабилни услови на процеси и ефикасно производство на полупроводници.

SEM податоци за CVD Sic филм