Вертикална печка SIC обложена прстен

Во вертикалните печки, употребата на прстени обложени со SiC е вообичаено решение, главно се користи во процесите на термичка обработка на висока температура наПолупроводнички нафори. Вертикална печка SIC обложени прстени се компоненти со високи перформанси, високи температурни компоненти што се користат за поддршка или заштита на нафорите за да се обезбеди стабилност и сигурност на процесот.

Функциите на вертикалната печка SIC обложен прстен

● Функции

Поддржувачка улога. Се користи за поддршка на нафорите за да се обезбеди нивната стабилност и точна позиција во печки со висока температура.

●  Заштита од корозија

Спречете корозивни гасови или хемикалии да го кородираат основниот материјал.

●  Намалување на загадувањето

Облогата со висока чистота SiC може ефикасно да го спречи фрлањето на честички и контаминација на нечистотии за да обезбеди чистота на процесот.

●  Отпорност на висока температура

Одржувајте одлични механички својства и димензионална стабилност во средини со висока температура (обично над 1000°C).

Карактеристики на прстенот со вертикална печка обложен со SiC

●  Висока цврстина и сила

SIC материјалите имаат одлична механичка јачина и можат да издржат висока температурна стрес во печката.

●  Добра термичка стабилност

Високата топлинска спроводливост на SiC и нискиот коефициент на термичка експанзија помагаат да се намали топлинскиот стрес.

●  Силна хемиска стабилност

SIC облоги можат да одолеат на корозијата во оксидирачки, кисели или алкални средини.

●  Загадување на ниски честички

Мазната површина ја намалува можноста за генерирање на честички, што е особено погодно за ултра чиста средина на производство на полупроводници.

Се користи за дифузија, оксидација, полнење и други процеси во вертикални печки за поддршка на силиконските нафора и спречување на загадување на честички за време на термичка обработка.

Производство на материјали и процеси

● Подлога: Направено од висококвалитетен SGL графит, квалитетот е загарантиран.

●  Слој: облогата со силициум карбид се нанесува на површината на графитот со хемиско таложење на пареа (CVD).

●  Дебелината на облогата е обично помеѓу 50~500μm, што се прилагодува според барањата за употреба.

Comight Коремирањето на хемиската таложење на пареата има поголема чистота и густина и подобра издржливост.

Изберете го соодветнотоSic облогаRingвони според дијаметарот на силиконскиот нафта во печката и спецификациите на превозникот. Можеме да го прилагодиме за вас. Високата чистота, густата облога е потрајна и помалку загадувачка. Регуларно заменете според фреквенцијата на употреба и барањата за процеси за да се избегне загадување или неуспех на поддршка заради стареење на облогата.

Како професионален добавувач и производител на прстени со вертикална печка обложен со SiC во Кина, VeTek Semiconductor долго време е посветен на обезбедување напредна технологија за вертикална печка и решенија за производи за индустријата за полупроводници. Искрено очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Кристална структура на филмот CVD SIC

Основни физички својства на CVD SiC облогата

Тоа полупроводникПродавници за обложени прстени со вертикална печка: