Алуминиум нитрид (AlN) керамички електростатски чак

1.Предности

• AlN керамика со висока чистота со топлинска спроводливост до ~180 W/m·K за ефикасен пренос на топлина и рамномерност на температурата

• Силна електрична изолација и отпорност со голем волумен што поддржува стабилно стегање на 1–3 kV (достапни се повисоки напони)

• Прилагодени материјали од диелектрични слоеви и распоред на електроди: Куломб или Џонсен-Рахбек (ЈР); единечна или повеќезонска

• Брзи перформанси на стегање и де-стегање, обично под 0,1 секунда

• Површински дупчиња микроструктури до дијаметар од ~ 300 μm, намалувајќи ја површината на контакт до ~ 1%

• Способност за висока плошност; типична глобална плошност од редот од 0,5-3 μm PV за платформи од класа 300 mm

• Густа микроструктура со речиси нула апсорпција на вода и добра хемиска отпорност за процесни средини

2.Типични апликации

Алуминиум нитрид керамички електростатички чаши се користат во процесните чекори кои бараат и безбедно држење на нафора и контролирано термичко однесување:

• Сува плазма офорт (ICP / RIE) и сродни процеси во комората

• CVD, PEALD, термички ALD и други фази на таложење на тенок филм

• Модули за жарење и термички процеси кои бараат униформа температура на нафора

• Фази на инспекција, метрологија и прецизност каде што ниските честички и стабилното стегање се критични

3.Оценки на материјали AlN – Типични својства

VeTek нуди повеќе класи на алуминиум нитрид за балансирање на топлинската спроводливост, механичката сила и трошоците за дизајните на ESC:

Единици: Топлинска спроводливост во W/(m·K); диелектрична јачина во kV/mm; волуменска отпорност во Ω·cm (25 °C); диелектрична константа на 1 MHz. Вредностите се типични и може да варираат во зависност од геометријата на процесите и деловите.

4.Типични параметри за дизајн на ESC

5.Зошто Chooдали VeTek AlN Електростатско Чак?

VeTek Semiconductor интегрира напредна AlN керамика со прецизно производство ESC за полупроводнички клиенти на кои им треба и термички перформанси и сигурно стегање:

• Повеќекратни степени AlN со топлинска спроводливост од ~90 до ~180 W/m·K за да одговараат на топлинските буџети на процесот

• Флексибилна електрода и диелектричен дизајн за однесување на прицврстување на Кулон или JR

• Тесна контрола на плошноста, микроструктурата на површината и перформансите на електричната изолација

• Целосна поддршка на животниот циклус: дизајн, нова конструкција и реновирање на повеќе нивоа

За офорт, таложење и термички алатки кои зависат од униформа температура на обландата и чисто, повторливо стегање, VeTek алуминиум нитрид керамички електростатички чакци обезбедуваат керамичка платформа со високи перформанси, поддржана со инженерска поддршка фокусирана на примена.