Служба за чистење на делови од графитни облоги CVD SiC

1. Предизвици со кои можеби се соочувате

• AlN слој тешко да се отстрани:Термичко чистење на 1300°C сè уште не може ефикасно да го издлаби преостанатиот слој AlN.

• Повторувачки мемориски ефект:Ефектот на површинска меморија предизвикува нестабилен проток на гас во реакторот, што влијае на конзистентноста на процесот.

• Циклус за чистење Impacts проток:Вообичаено на секои 16 процесни циклуси (4-5 чувствителни) им треба надворешно чистење.

• Загриженост за оштетување на скапиот слој:Недостатокот на внатрешно искуство за хемиско чистење ги тера операторите да се колебаат да обидат агресивно чистење.

2. Нашето решение – Дизајнирано за GaN / AlN / AlGaN процеси

• Професионално чистење:Прилагоден процес специјално развиен за делови од графит обложени со CVD SiC. Не се бара хемиска формула од клиентот.

• Безбедност на облогата:Строго ја штити CVD SiC облогата од 100 µm. Апсолутна нулта загуба на дебелина по чистењето.

• Проверливи резултати:Целосен сертификат за анализа (COA) кој опфаќа пет основни димензии. Подготвени податоци за архива и ревизија на квалитетот.

3. Пет основни критериуми за прифаќање

Строго усогласени со критичните барања на корисниците на полупроводнички епитаксии:

1. Нулта загуба на облогата– Дебелината на облогата на SiC никогаш не се намалува по чистењето (проверка за споредба на дебелината пред/пост).

2. Нема површинска деформација– Плошноста и геометриската точност се строго проверени за да нема физичка деформација.

3. Елиминирајте го меморискиот ефект– XPS анализата за Al/Ga остаток потврдува темелно отстранување на изворите на мемориски ефект.

4. Нулта метален остаток– ICP-MS тестирањето за Fe, Cu, Ni и други метали потврдува нула резидуални метални нечистотии.

5. Без вишок честички– QIII тестот за честички плус проверката на чистотата ја спречуваат нестабилноста на протокот на гас предизвикана од резидуални честички.

4. Извештај за инспекција и COA за испорака

Секоја серија се испорачува со целосни податоци за верификација во пет основни димензии:

5. Применливи производи и процес на позадина

Параметри на производот

Процес на сервисирање

1. Истражување– Испратете дел фотографии / модел / количина за евалуација.

2. Цитат– Техничка евалуација и детален предлог за чистење со понуда.

3. Испорака– Испраќајте ни делови или организирајте услуга за подигнување.

4. Чистење– Професионално чистење + целосна повеќедимензионална проверка.

5. Извештај– Издаден извештај на COA и вратени исчистените делови.

6. Следење– Следење на ефекти и тековна техничка поддршка.

6. Зошто да ја изберете услугата за чистење ВЕТЕК?

VETEK комбинира длабока експертиза во технологијата за CVD SiC обложување со специјализирани способности за чистење на графитни сензори со висока вредност. Ја разбираме критичната важност на интегритетот на облогата, контролата на честичките и чистотата на процесот во епитаксијата GaN/AlN. Нашата услуга е дизајнирана за клиенти кои бараат апсолутна безбедност за скапи CVD SiC облоги додека целосно ги решаваат проблемите со меморискиот ефект и нестабилноста на протокот на гас.

· Достапно е пробно чистење за верификација со мала серија

· Целосен извештај за COA обезбеден со секоја испорака

· Нулта опасност од оштетување на облогата или нова контаминација

· Професионално · Безбедно · Проверливо