CVD силикон карбид (SiC) обложен RTP сусцептор

Карактеристики

• Терма Еднообразност - материјалот е висока термичка дифузноста овозможува брз, просторно рамномерен пренос на топлина, поддржувајќи повторливи температурни профили на нафора.
• Високо ниво на чистота – CVD SiC облогата постигнува чистота од 99,99995%, ефикасно ги намалува ризиците од контаминација од мобилни јони и метал во критичните чекори на процесот.
• Хемиска издржливост – Облогата покажува силна отпорност на корозивни видови, вклучително и гасови на база на халогени, при покачени температури. l Продолжени интервали на сервисирање – Подобрената оксидација и отпорност на абење се претвораат во помалку замени и намалено време на работа на алатот.
• Флексибилност на дизајнот – Димензиите и конфигурациите може да се прилагодат за да одговараат на специфичните геометрии на RTP комората и големини на нафора.

Апликации

• Брза термичка обработка (RTP)
• Брзо термичко жарење (RTA)
• Допантско активирање Чекори на оксидација и жарење
• Производство на интегрирано коло (IC).
• Изработка на моќен уред Технички
  
  

Спецификации

Зошто да изберете VeTek полупроводник?

• Внатрешен процес на обложување CVD SiC, развиен специјално за барањата за полупроводничка класа.
• Интегрирани способности за прочистување на графит, прецизна обработка и контрола на дебелината на облогата.
• Докажана адхезија на облогата и униформност на слојот низ сериското производство.
• Инженерска поддршка за прилагодени дизајни на сензори компатибилни со главните платформи за алатки RTP.
• Ригорозната проверка на влезниот материјал, мониторингот во процесот и последното тестирање за квалификација обезбедуваат конзистентност од серија до серија.