Графитен прстен обложен со CVD TaC

Општи информации за производот

Деловни услови за производи

Апликација: Veteksemicon CVD TaC обложениот прстен е специјално развиен заПроцеси на раст на SiC кристали. Како клучна носечка компонента во комората за реакција на висока температура, нејзиниот уникатен TaC слој ефикасно ја изолира корозијата на силиконска пареа, спречува контаминација на нечистотии и обезбедува структурна стабилност во долгорочни средини со висока температура, обезбедувајќи сигурна гаранција за добивање висококвалитетни кристали.

Услуги кои можат да се обезбедат: анализа на сценарио за апликација на клиентите, материјали за совпаѓање, решавање технички проблеми.

Профил на компанијатаe：Veteksemicon има 2 лаборатории, тим од експерти со 20-годишно материјално искуство, со можности за истражување и развој и производство, тестирање и верификација.

Мојот ривал CVD TaC обложен прстен е јадро потрошен материјал дизајниран за високотемпературно таложење на хемиска пареа и раст на кристали на напредни полупроводнички материјали, особено силициум карбид. Ние користиме уникатна, оптимизирана технологија за хемиско таложење на пареа за таложење на густа, униформаоблога од тантал карбидна графитна подлога со висока чистота. Со исклучителна отпорност на високи температури, одлична отпорност на корозија и исклучително долг работен век, овој производ ефикасно го штити квалитетот на кристалот и значително ги намалува вкупните трошоци за производство, што го прави суштински избор за процеси кои бараат стабилност на процесот и највисок принос.

Технички параметри:

Основни предности на Veteksemicon CVD TaC обложени прстен

Неспоредлива чистота и стабилност

Во екстремната средина на раст на SiC кристалите, каде температурите надминуваат 2000°C, дури и нечистотиите во трагови може да ги уништат електричните својства на целиот кристал. НашиотCVD TaC облога, со својата исклучителна чистота, фундаментално ја елиминира контаминацијата од прстенот. Понатаму, неговата одлична стабилност на висока температура гарантира дека облогата нема да се распаѓа, испарува или да реагира со процесните гасови за време на долготрајно високотемпературно и термички циклус, обезбедувајќи чиста и стабилна средина во фаза на пареа за раст на кристалите.

Одлична корозија иотпорност на ерозија

Корозијата на графитот со силиконска пареа е примарна причина за дефект и контаминација со честички во традиционалните графитни прстени. Нашата обвивка TaC, со својата исклучително ниска хемиска реактивност со силициум, ефикасно ја блокира силиконската пареа, заштитувајќи ја основната графитна подлога од ерозија. Ова не само што значително го продолжува животниот век на самиот прстен, туку, што е уште поважно, значително ги намалува честичките создадени од корозија и распарчување на подлогата, што директно го подобрува приносот на растот на кристалите и внатрешниот квалитет.

Одлични механички перформанси и работен век

TaC облогата формирана со CVD процесот има исклучително висока густина и Vickers цврстина, што го прави исклучително отпорен на абење и физички удари. Во практична примена, нашите производи можат да го продолжат работниот век за 3 до 8 пати во споредба со традиционалните графитни прстени или прстените обложени со пиролитички јаглерод/силициум карбид. Ова значи помалку време за замена и поголема искористеност на опремата, што значително ги намалува вкупните трошоци за производство на еден кристал.

Одличен квалитет на облогата

Изведбата на облогата е многу зависна од неговата униформност и јачината на врзување. Нашиот оптимизиран CVD процес ни овозможува да постигнеме високо униформа дебелина на облогата дури и на најсложените геометрии на прстените. Што е уште поважно, облогата формира силна металуршка врска со графитната подлога со висока чистота, ефикасно спречувајќи лупење, пукање или лупење предизвикано од разликите во коефициентите на термичка експанзија за време на брзите циклуси на загревање и ладење, обезбедувајќи постојани сигурни перформанси во текот на животниот циклус на производот.

Одобрување за верификација на еколошки синџир

Верификацијата на еколошкиот синџир на Veteksemicon CVD TaC Coated Ring ги опфаќа суровините до производство, има положено сертификација за меѓународни стандарди и има голем број патентирани технологии за да се обезбеди неговата доверливост и одржливост во полињата на полупроводниците и новите енергетски полиња.

За детални технички спецификации, бели документи или аранжмани за тестирање примероци, ве молимеконтактирајте со нашиот тим за техничка поддршкада истражите како Veteksemicon може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.