Вести

Што е CVD TAC облога? - Ветесеми

Како што сите знаеме,тантал карбид (TaC)има точка на топење до 3880°C, висока механичка сила, цврстина, отпорност на термички шок; добра хемиска инертност и топлинска стабилност на амонијак, водород, пареа што содржи силикон при високи температури.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Танталум карбид обвивка на микроскопски пресек


CVD TAC облога, Хемиско таложење на пареа (CVD) наоблога од тантал карбид (TaC)., е процес за формирање на облога со висока густина и издржливост на подлога (најчесто графит). Овој метод вклучува депонирање на TaC на површината на подлогата при високи температури, што резултира со облога со одлична термичка стабилност и хемиска отпорност.


Главните предности на CVD TaC облогите вклучуваат:


●  Екстремно висока термичка стабилност: Облогата со тантал карбид може да издржи температури над 2200°C.


● Хемиски отпор: CVD TaC облогата може ефикасно да се спротивстави на суровите хемикалии како водород, амонијак и силициумска пареа.


●  Силна адхезија: Облогата TaC обезбедува долготрајна заштита без раслојување.


●  Висока чистота: ги минимизира нечистотиите, што го прави идеален за полупроводнички апликации.


Физички својства на танталум карбид облога
TaC густина на облогата
14.3 (g/cm³)
Специфична емисионост
0.3
Коефициент на термичка експанзија
6,3*10-6
Цврстина на облогата (HK)
2000 HK
Отпор
1 × 10-5Ом * см
Термичка стабилност
<2500
Големината на графитот се менува
-10-20 мм
Дебелина на облогата
≥20um типична вредност (35um±10um)


Овие облоги се особено погодни за околини кои бараат голема издржливост и отпорност на екстремни услови, како што се производство на полупроводници и индустриски процеси со висока температура.


Во индустриското производство, графитот (јаглерод-јаглерод композит. и анти-абтација на облогата и има широки изгледи за апликација. Како и да е, сè уште има многу предизвици за да се постигне подготовка на густа, униформа, не-флеки TAC облога на површината на графит и да се промовира производство на индустриска маса.


Во овој процес, истражувањето на заштитниот механизам на облогата, иновирањето на производствениот процес и конкуренцијата со највисокото странско ниво се клучни за третата генерацијаПолупроводнички кристален раст и епитаксијата.




VeTek Semiconductor е професионален кинески производител на производи за обложување со тантал карбид CVD, а нашата чистота на TaC облогата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите. VeTekSemi главните CVD TaC обложени производи вклучуваат CVD TaC Crucible за обложување, CVD TaC облога Носач на нафора, CVD TAC носач за обложувањеCVD TaC облога,  Прстен за обложување CVD TaC. VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување напредни решенија за различни производи за обложување за индустријата за полупроводници. VeTek Semiconductor искрено се надева дека ќе стане ваш долгорочен партнер во Кина.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

Е-пошта: anny@veteksemi.com

Поврзани вести
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept