Брод со нафора обложен со CVD SiC со висока чистота

1. Основни фактори на изведба?

• Чистота на ниво 7N:Ние одржуваме стандард за чистота од 99,99999% (7N). Ова не може да се преговара за спречување на металните загадувачи да мигрираат во нафората за време на долгите чекори на вклучување или оксидација.
• Заптивка за CVD (50-300μm):Ние не ја „фарбаме“ само површината. Нашиот слој од 50–300μm CVD SiC создава целосно запечатување над подлогата. Ова ја елиминира порозноста, што значи дека чамецот нема да заробува хемикалии или да исфрла честички дури и по постојано изложување на реактивни гасови или агресивно чистење SPM/DHF.
• Термичка ригидност:Природната ниска термичка експанзија на силикон карбид ги одржува овие чамци исправени. Тие нема да попуштаат или извртуваат за време на брзото термичко жарење (RTA), обезбедувајќи дека раката на роботот секогаш удира во десниот отвор без заглавување.
• Одржливи приноси:Површината е дизајнирана за ниска адхезија на нуспроизвод. Помалку таложење значи помалку честички што ги погодуваат вашите наполитанки и повеќе трки помеѓу циклусите на чистење на влажна клупа.
• Прилагодена геометрија:Секоја фабрика има свое поставување. Ги обработуваме на вашите специфични цртежи на Pitch и Slot, без разлика дали работите со хоризонтална печка или вертикална автоматизирана линија од 300 mm.

2. Компатибилност на процесот

• Атмосфера:Отпорен на TMGa, AsH3 и средини со висока концентрација на O2.
• Термички опсег:Стабилно долгорочно работење до 1400°C.
• Материјали:Специфично дизајниран за процеси на оксидација и дифузија на Logic, Power и Analog нафора.