Пиезоелектрични наполитанки PZT (PZT на Si/SOI)

1. Техничка архитектура

Нашите обланди се карактеризираат со софистицирана повеќеслојна структура на оџак дизајнирана да обезбеди оптимална адхезија, спроводливост и пиезоелектричен одговор за време на сложената MEMS обработка:

 ●Горна електрода (клучен слој): Pt (платина).

● Пиезо слој (основен слој): ПЗТ.

● Средни слоеви: Вклучува тампон слој, долна електрода и слој за адхезија за да се оптимизира ориентацијата на зрната и структурната стабилност.

● Подлога: Компатибилен со наполитанки Si или SOI.

2. Обезбедување квалитет и анализа на микроструктурата

Обезбедуваме висока доверливост преку ригорозна техничка карактеризација:

 ●SEM анализа: Сликите со електронска микроскопија за скенирање (SEM) откриваат густа морфологија на површината без пукнатини со униформа дистрибуција на големината на зрната, идеална за MEMS апликации со висока доверливост.

 ●XRD Карактеризација: Шаблоните со дифракција на рендген (XRD) го потврдуваат формирањето на чиста перовскит фаза со силна (100) претпочитана ориентација, обезбедувајќи максимални коефициенти на пиезоелектрични перформанси.

3. Технички спецификации (карактеристики)

4. Основни апликации

 ● Пиезоелектрични микромашински ултразвучни трансдуктори (pMUT): Високофреквентни минијатуризирани низи за сензори за отпечатоци, препознавање гестови и автомобилски ултразвучен радар.

 ● Комуникација: Клуч за производство на FBAR или SAW филтри во 5G/6G за да се постигне поширок опсег и помала загуба на вметнување.

 ● Акустична MEMS: Обезбедува моќен преоден одговор за MEMS звучниците и го подобрува соодносот сигнал-шум (SNR) за MEMS микрофоните.

 ● Прецизна контрола на течности: Вибрации со голема брзина преку режимот d31 за прецизна контрола на волуменот на капките во инкџет главите за печатење во размер на нанолитри.

 ● Медицина и убавина (микропумпање): Вози медицински небулизатори или козметички ултразвучни пумпи со висока доверливост и компактна големина.

5. Услуги за приспособување

Покрај стандардното таложење на наполитанките Si, ние исто така обезбедуваме услуги за прилагодено таложење:

 ●Приспособување на филм и дебелина: Таложење на специфични типови филмови и сопствени дебелини според барањата за дизајн.

 ●OEM Леарница: Прифаќање на наполитанки испорачани од клиенти за висококвалитетен пиезоелектричен раст на тенок слој.

 ●Поддршка на подлогата SOI: Специјализирано таложење на SOI наполитанки со следните спецификации: