Вести

Во индустријата за производство на полупроводници, бидејќи големината на уредот продолжува да се намалува, технологијата на таложење на тенок филмски материјали претставува невидени предизвици. Депонирањето на атомскиот слој (ALD), како технологија за таложење на тенок филм што може да постигне прецизна контрола на атомско ниво, стана неопходен дел од производството на полупроводници. Овој напис има за цел да го воведе протокот на процесот и принципите на ALD за да помогне во разбирањето на нејзината важна улога во напредното производство на чипови.

Идеално е да се изградат интегрирани кола или полупроводнички уреди на совршен кристален основен слој. Процесот на епитаксија (епи) во производството на полупроводници има за цел да депонира фин еднокристален слој, обично околу 0,5 до 20 микрони, на еднокристална подлога. Процесот на епитаксија е важен чекор во производството на полупроводнички уреди, особено во производството на силиконски нафора.

Главната разлика помеѓу таложењето на епитаксијата и атомскиот слој (ALD) лежи во нивните механизми за раст на филмот и условите за работа. Епитаксијата се однесува на процесот на одгледување на кристален тенок филм на кристален подлога со специфична ориентација, одржување на истата или слична кристална структура. Спротивно на тоа, ALD е техника на таложење што вклучува изложување на подлога на различни хемиски прекурсори во низа за да се формира тенок филм еден атомски слој во исто време.

CVD TAC облогата е процес за формирање на густа и издржлива обвивка на подлогата (графит). Овој метод вклучува депонирање на TAC на површината на подлогата на високи температури, што резултира во облога на танталум карбид (TAC) со одлична термичка стабилност и хемиска отпорност.

Бидејќи 8-инчниот процес на силиконски карбид (SIC) созрева, производителите ја забрзуваат смената од 6-инчи на 8-инчи. Неодамна, на полупроводникот и резонак најавија ажурирања за производство на 8-инчи SIC.

Оваа статија ги воведува најновите случувања во ново дизајнираниот реактор CVD-wallид PE1O8 на италијанската компанија LPE и неговата способност да изврши униформа епитакси на 4H-SIC на 200мм SIC.