Вести

Постојат многу видови опрема за мерење во фабриката FAB. Заедничка опрема вклучува опрема за мерење на процесот на литографија, опрема за мерење на процесот на гравирање, опрема за мерење на процесот на таложење на тенок филм, опрема за мерење на процесот на допинг, опрема за мерење на процесот на CMP, опрема за откривање честички на нафта и друга опрема за мерење.

Облогата на танталум карбид (TAC) може значително да го продолжи животот на графитните делови со подобрување на отпорност на висока температура, отпорност на корозија, механички својства и можности за управување со термичко управување. Неговите високи карактеристики на чистота ја намалуваат загадувањето на нечистотиите, го подобруваат квалитетот на растот на кристалот и ја зголемуваат енергетската ефикасност. Тој е погоден за производство на полупроводници и апликации за раст на кристалот во висока температура, високо корозивни средини.

Обложувањата на танталум карбид (TAC) се широко користени во полето на полупроводници, главно за компонентите на реакторот на епитаксијален раст, компонентите на клучните кристали за раст на кристалот, високо-температурните индустриски компоненти, MOCVD грејачи на системот и нафта.

За време на процесот на епитаксијален раст на SiC, може да дојде до дефект на графитната суспензија обложена со SiC. Овој труд спроведува ригорозна анализа на феноменот на неуспех на суспензијата од графит обложена со SiC, која главно вклучува два фактора: дефект на епитаксијален гас на SiC и дефект на облогата на SiC.