Вести

Работен принцип на епитаксијалната печка е да се депонираат полупроводнички материјали на подлогата под висока температура и висок притисок. Силиконски епитаксичен раст е да се одгледува слој на кристал со иста кристална ориентација како подлогата и различна дебелина на силиконска единечна кристална подлога со одредена кристална ориентација. Оваа статија главно ги воведува методите на силиконски епитаксијален раст: епитаксијата на фазата на пареа и епитаксијата на течна фаза.

Депонирање на хемиска пареа (CVD) во производството на полупроводници се користи за депонирање на тенки филмови материјали во комората, вклучувајќи SiO2, SIN, итн., И најчесто користените типови вклучуваат PECVD и LPCVD. Со прилагодување на температурата, притисокот и реакцијата на гасот, CVD постигнува висока чистота, униформност и добро покривање на филмот за да се исполнат различните барања за процеси.

Оваа статија главно ги опишува широките можности за примена на керамиката со силициум карбид. Исто така, се фокусира на анализата на причините за синтерување пукнатини во керамиката со силициум карбид и соодветните решенија.

Технологијата за гравирање во производството на полупроводници честопати наидува на проблеми како што се ефектот на вчитување, ефектот на микро-гасови и ефектот на полнење, кои влијаат на квалитетот на производот. Решенијата за подобрување вклучуваат оптимизирање на густината на плазмата, прилагодување на составот на гасот на реакцијата, подобрување на ефикасноста на вакуумскиот систем, дизајнирање разумен распоред на литографијата и избор на соодветни материјали за маска за гравирање и услови на процеси.

Топлото притискање на топло е главниот метод за подготовка на керамика со високи перформанси SIC. Процесот на топло притискање на топло вбризгување вклучува: избор на висока чистота SIC во прав, притискање и обликување под висока температура и висок притисок, а потоа и топење. SIC керамиката подготвена со овој метод има предности на висока чистота и висока густина и широко се користат во дискови за мелење и опрема за третман на топлина за обработка на нафта.