Кои материјали се користат во керамички компоненти на полупроводници?

Алумина керамика (АЛ₂o₃)

Керамиката на алумина е „работна сила“ за производство на керамички компоненти. Тие покажуваат одлични механички својства, ултра високи точки на топење и цврстина, отпорност на корозија, силна хемиска стабилност, висока отпорност и супериорна електрична изолација. Тие најчесто се користат за измислување плочи за полирање, вакуумски чакови, керамички раце и слични делови.

‌Алуминиум нитрид керамика (АЛН)

Керамиката на алуминиум нитрид има висока термичка спроводливост, коефициент на термичка експанзија што одговара на оној на силикон и ниска диелектрична константа и загуба. Со предности како што се висока точка на топење, цврстина, топлинска спроводливост и изолација, тие првенствено се користат во подлоги за раздвојување на топлина, керамички млазници и електростатски чакови.

‌Yttria керамика (y₂o₃)

Керамиката на Yttria може да се пофали со висока точка на топење, одлична хемиска и фотохемиска стабилност, ниска енергија на фонон, висока термичка спроводливост и добра транспарентност. Во индустријата за полупроводници, тие честопати се комбинираат со алуминиумска керамика - на пример, обложувањата на Yttria се применуваат на алуминиумска керамика за производство на керамички прозорци.

‌Silicon nitride керамика (Si₃n₄)

Керамиката на силикон нитрид се карактеризира со висока точка на топење, исклучителна цврстина, хемиска стабилност, низок коефициент на термичка експанзија, висока топлинска спроводливост и силна отпорност на термички шок. Тие одржуваат извонредна отпорност и јачина на влијанието под 1200 ° C, што ги прави идеални за керамички подлоги, куки што носат оптоварување, иглички за позиционирање и керамички цевки.

‌Silicon carbide керамика (sic)

Силиконска карбид керамика, личи на дијамант во својства, се лесни, ултра-тврди и материјали со голема јачина. Со исклучителни сеопфатни перформанси, отпорност на абење и отпорност на корозија, тие се користат во седиштата на вентилите, лизгачките лежишта, горилниците, млазниците и разменувачите на топлина.

‌Zirconia керамика (zro₂)

Цирконија керамиката нуди висока механичка јачина, отпорност на топлина, отпорност на киселина/алкали и одлична изолација. Врз основа на содржината на цирконија, тие се категоризираат во:

• Прецизна керамика‌ (содржина поголема од 99,9%, што се користи за интегрирани подлоги на коло и изолациони материјали со висока фреквенција).
• Обична керамика‌ (за керамички производи со општа намена).

Структурни карактеристики наПолупроводнички керамика Компоненти

‌Dense Ceramics‌

Густата керамика е широко користена во индустријата за полупроводници. Тие постигнуваат густини со минимизирање на порите и се подготвуваат преку методи како што се синтерување на реакција, без притисок, тон со тон-фаза, топло притискање и топло изостатичко притискање.

‌ подложна керамика

За разлика од густата керамика, порозната керамика содржи контролиран волумен на празнини. Тие се класифицирани според големината на порите во микропорозна, мезопорна и макропорна керамика. Со мала густина на најголемиот дел, лесна структура, голема специфична површина, ефективна филтрација/термичка изолација/акустична амортизација и стабилни хемиски/физички перформанси, тие се користат за производство на различни компоненти во опрема за полупроводници.