SIC обложена е-чиста

Бидејќи Галиум нитрид (ГАН) станува основен материјал на полупроводникот на третата генерација, неговите апликации во високи фреквенции, високи моќни и оптоелектронски полиња продолжуваат да се шират, како што се 5G комуникациски основни станици, модули за напојување и LED уреди. Како и да е, во производството на полупроводници, особено во процесот на гравирање, нафорите треба да бидат подложени на висока температура, висока хемиска корозија на животната средина и екстремно високи барања за процеси на прецизност, кои изнесуваат екстремно високи технички стандарди за алатки за лежишта.

SIC керамички палети на Vetek SiC SIC се дизајнирани за гравирање на нафора на ГАН и нудат висока чистота, одлична топлина и хемиска отпорност за поддршка на вашиот процес на производство. Тој е погоден за процес на гравирање во плазма (ICP/RIE) и е идеален избор во модерна опрема за производство на полупроводници.

Основни јаки страни

1. Керамички материјал со висока чистота

Хемиска стабилност: Чистотата на материјалот е повеќе од 99,5%, и нема загадување на нафтата ГАН.

Висока цврстина и отпорност на абење: цврстина близу до дијамант, способна да издржи употреба на висока фреквенција, невидливи промени и гребнатини.

2 Одлични термички перформанси

Висока термичка спроводливост, коефициент на термичка експанзија (CTE): Намалете го ризикот од пукање на нафта во процесот на гравирање.

3. Супер хемиска отпорност на корозија

Може да работи во висока концентрација на флуорид, хлорид и друга корозивна околина на гас подолго време.

4. прецизен дизајн и машинска обработка

Грубоста на површината и плошноста обезбедуваат непречено поставување на нафора и униформност за оформување за да се исполнат барањата за процеси со голема прецизност.

Димензиите, жлебовите, фиксните дупки и другите структури можат да се прилагодат според барањата на клиентите.

Поле на SIC обложена апликација за е-чиста

● Плазма за гравирање (ICP/RIE)

Обезбедува фиксација и поддршка на нафта во висока температура и висока хемиска корозивна околина, погодна за процес на гравирање на GAN, SIC и други материјали.

● Пренесување и складирање на нафора

Обезбедете високо рамна платформа и без загадување за да ја заштитите безбедноста на нафтата во процесот на производство.

Прилагодени услуги

Тоа полупроводникнуди кориснички услуги за да ги задоволите вашите специфични потреби за процеси:

Performationalид на големината: Големината на палетата може да се прилагоди според големината на нафтата (Ø4 ~ 12 инчи).

● Оптимизација на структурата: Поддршка на жлебот, дупка за позиционирање, фиксна точка и друга прилагодување на структурата.

Тоа полупроводникSIC обложени продавници за производи за е-чиста: