Производи
Плоча за гравирање на ICP
  • Плоча за гравирање на ICPПлоча за гравирање на ICP
  • Плоча за гравирање на ICPПлоча за гравирање на ICP

Плоча за гравирање на ICP

Ветексемион обезбедува плочи за гравирање на ICP со високи перформанси SIC, дизајнирани за апликации за гравирање на ICP во индустријата за полупроводници. Неговите уникатни материјални својства му овозможуваат да се одвива добро во околини со висока температура, висок притисок и хемиска корозија, обезбедувајќи одлични перформанси и долгорочна стабилност во различни процеси на гравирање.

Технологијата за гравирање на ICP (индуктивно споен плазма) технологија е прецизен процес на гравирање во производството на полупроводници, најчесто се користи за прецизност и висококвалитетен трансфер на шема, особено погоден за длабоко гравирање на дупки, обработка на микро-шема, итн.


ПолуПлочата за гравирање на ICP е специјално дизајнирана за ICP процес, користејќи висококвалитетни SIC материјали и може да обезбеди одлични перформанси во висока температура, силни корозивни и високи енергетски средини. Како клучна компонента за лого и поддршка,ИЦП -ечПлочата обезбедува стабилност и ефикасност за време на процесот на гравирање.


Плоча за гравирање на ICPКарактеристики на производот


ICP Etching process

● Толеранција на висока температура

Плочата за гравирање SIC ICP може да издржи на температурни промени до 1600 ° C, обезбедувајќи стабилна употреба во околината за гравирање на ICP со висока температура и избегнување на деформација или деградација на перформансите предизвикана од температурни флуктуации.


●  Одлична отпорност на корозија

Силиконски карбид материјалможе ефикасно да одолее на високо корозивни хемикалии, како што се водород флуорид, водород хлорид, сулфурна киселина, итн. што може да биде изложено за време на гравирање, осигурувајќи дека производот не е оштетен за време на долгорочна употреба.


●  Низок коефициент на термичка експанзија

Плочата за гравирање SIC ICP има низок коефициент на термичка експанзија, кој може да одржи добра димензионална стабилност во висока температурна околина, да го намали стресот и деформацијата предизвикана од температурните промени и да обезбеди точен процес на гравирање.


●  Висока цврстина и отпорност на абење

SIC има цврстина до 9 цврстина на MOHS, што може ефикасно да спречи механичко абење што може да се појави за време на процесот на гравирање, да го прошири животниот век и да ја намали фреквенцијата на замена.


● Е.Xcellent термичка спроводливост

Одлична термичка спроводливост гарантира декаSic послужавникМоже брзо да ја расипе топлината за време на процесот на гравирање, избегнувајќи ги локалните зголемувања на температурата предизвикано од акумулацијата на топлина, со што се обезбедува стабилност и униформност на процесот на гравирање.


Со поддршка на силен технички тим, ветексемион SIC ICP -лента за гравирање има завршено разни тешки проекти и обезбедува прилагодени производи според вашите потреби. Со нетрпение го очекуваме вашето испитување.


Основни физички својства на CVD Sic:

BASIC физички својства на CVD Sic
Својство
Типична вредност
Кристална структура
FCC β фаза поликристален, главно (111) ориентиран
Густина
3.21 g/cm³
Цврстина
2500 Викерс цврстина (500g оптоварување)
Големина на жито
2 ~ 10мм
Хемиска чистота
99.99995%
Топлински капацитет
640 J · kg-1· К.-1
Температура на сублимација
2700
Флексурална сила
415 MPa RT 4-точка
Млади модул
430 GPa 4pt Bend, 1300
Термичка спроводливост
300W · m-1· К.-1
Термичка експанзија (CTE)
4,5 × 10-6K-1


Жешки тагови: Плоча за гравирање на ICP
Испрати барање
Контакт Инфо
  • Адреса

    Вангда патот, улицата Зијанг, округот Вуи, градот Jinинхуа, провинцијата hejеџијанг, Кина

  • Е-пошта

    anny@veteksemi.com

За прашања во врска со облогата со силикон карбид, облогата со тантал карбид, специјалниот графит или ценовникот, ве молиме оставете ни ја вашата е-пошта и ние ќе стапиме во контакт во рок од 24 часа.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept