SIC обложен носач на нафта за гравирање

Основна примена на носачот на нафта обложен со SIC за процес на гравирање

1. Раст на филмот Ган и гравирање во ЛЕР производство

SIC обложени носачи (како што е носач за гравирање PSS) се користат за поддршка на подлоги на сафир (образено подлога на сафир, PSS) во LED производство и изведување на таложење на хемиска пареа (MOCVD) на филмовите Галиум нитрид (ГАН) на високи температури. Носачот потоа се отстранува со процес на влажно гравирање за да се формира површинска микроструктура за подобрување на ефикасноста на екстракција на светлина.

Клучна улога: Носачот на нафта треба да издржи температури до 1600 ° C и хемиска корозија во околината за гравирање во плазма. Високата чистота (99.99995%) и густината на облогата на SIC спречуваат метално загадување и обезбедуваат униформност на филмот ГАН.

2. Полупроводнички плазма/процес на суво гравирање

ВоИЦП (индуктивно споена плазма), SIC обложените носачи постигнуваат униформа дистрибуција на топлина преку оптимизиран дизајн на проток на воздух (како што е режим на ламинарен проток), избегнуваат дифузија на нечистотии и ја подобруваат точноста на гравирање. На пример, SIC-премачкуваниот носач на ICP на Vetekemicon може да издржи температура на сублимација од 2700 ° C и е погодна за високо-енергетски плазма околини.

3. Производство на соларни ќелии и напојување

SIC носачите функционираат добро во дифузија со висока температура и гравирање на силиконски нафора во фотоволтаичното поле. Нивниот низок коефициент на термичка експанзија (4,5 × 10⁻⁶/k) ја намалува деформацијата предизвикана од термички стрес и го проширува животниот век на услугата.

Физички својства и предности на носачот на нафта обложена со SIC за гравирање

1. Толеранција кон екстремни опкружувања:

Стабилност на висока температура:CVD SIC облогаМоже да работи во воздухот од 1600 ° C или 2200 ° C вакуумско опкружување долго време, што е многу повисоко од традиционалните кварцни или графитни носачи.

Отпорност на корозија: SIC има одличен отпор на киселини, алкали, соли и органски растворувачи и е погодна за линии за производство на полупроводници со чести хемиско чистење.

2. Термички и механички својства:

Висока термичка спроводливост (300 W/MK): Брзата дисипација на топлина ги намалува термичките градиенти, обезбедува униформност на температурата на нафтата и избегнува отстапување на дебелината на филмот.

Висока механичка јачина: Флексиралната јачина достигнува 415 MPa (собна температура), и сè уште одржува повеќе од 90% јачина на висока температура, избегнувајќи пукање на превозникот или делиминација.

Површинска завршница: SSIC (синтериран притисок на силиконски карбид) има мала грубост на површината (<0,1μm), намалувајќи ја загадувањето на честички и го подобрува приносот на нафта.

3. Оптимизација на совпаѓање на материјалот:

Ниска термичка разлика во експанзијата помеѓу графитската подлога и SIC облогата: Со прилагодување на процесот на обложување (како што е таложење на градиент), стресот на интерфејсот е намален и облогата е спречена од пилинг.

Висока чистота и ниски дефекти: Процесот на CVD обезбедува чистота на облогата> 99.9999%, избегнувајќи метална јонска контаминација на чувствителни процеси (како што е производство на уреди за напојување SIC).

Потоав Физички својства на CVD SIC облогата

Кристална структура за обложување на CVD SIC

Продавници за ветеринари на сексикон